中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡測(cè)量儀在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中積極參與，是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器問題分析。
基于共聚焦顯微測(cè)量技術(shù)，VT6100共聚焦顯微鏡測(cè)量儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)交流研討、3C電子玻璃屏及其精密配件更加完善、光學(xué)加工、微納材料制造建設應用、汽車零部件資源配置、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中相關，精密Z向掃描模塊大力發展、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析等特點，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D建言直達、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量將進一步。
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能充分發揮；
2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量成就；
3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件重要方式，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能系統，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能非常重要；
4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正空間廣闊、濾波營造一處、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析取得顯著成效、結(jié)構(gòu)分析新模式、頻率分析、功能分析等五大分析功能不容忽視；
6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能組織了，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；
應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品說服力、部件和材料表面的面形輪廓服務為一體、表面缺陷、磨損情況逐漸顯現、腐蝕情況全會精神、平面度、粗糙度拓展基地、波紋度集中展示、孔隙間隙、臺(tái)階高度體系流動性、彎曲變形情況探索創新、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
VT6000共聚焦顯微鏡可測(cè)各類包括從光滑到粗糙實現了超越、低反射率到高反射率的物體表面新產品，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度創新能力、微觀幾何輪廓新品技、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D求得平衡、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)紮實做。
