中圖儀器VT6000系列顯微鏡測量儀器以共聚焦技術(shù)為原理交流研討，用于測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析形式，如3D表面形貌建設應用、2D的縱深形貌、輪廓（縱深日漸深入、寬度動力、曲率、角度）互動式宣講、表面粗糙度等自然條件。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000系列顯微鏡測量儀器以共聚焦技術(shù)為原理開展，用于測量表面物理形貌互動互補，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌意向、2D的縱深形貌意料之外、輪廓（縱深文化價值、寬度、曲率置之不顧、角度）不斷完善、表面粗糙度等。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器方便。

VT6000系列顯微鏡測量儀器可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測基礎上、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工應用領域、微納材料制造保持競爭優勢、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天實現、科研院所等領(lǐng)域中不容忽視。可測各類包括從光滑到粗糙服務體系、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度搶抓機遇、平整度分析、微觀幾何輪廓、曲率等全面闡釋，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D非常激烈、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能引人註目；

(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能領域，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

(3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件好宣講，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量註入新的動力，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能；

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置效率和安、糾正、濾波品牌、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能深入開展；

(5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析等形式、結(jié)構(gòu)分析技術的開發、頻率分析、功能分析等五大分析功能飛躍；

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能更高效，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能全面協議；

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓影響、表面缺陷新的動力、磨損情況、腐蝕情況發展契機、平面度廣泛關註、粗糙度、波紋度發力、孔隙間隙優勢領先、臺階高度、彎曲變形情況共創美好、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析推動並實現。

應(yīng)用范例：

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器覆蓋範圍，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)優化程度，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器奮勇向前，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)不斷豐富。且儀器高精度、高重復(fù)性

1）以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)組建，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法各有優勢，共同組成測量系統(tǒng)，保證儀器的高測量精度重要的意義；

2）隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲持續，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠，具有良好的測量重復(fù)性持續發展。

部分技術(shù)指標(biāo)

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