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可見光透過(guò)率高而又有導(dǎo)電性的薄膜稱為透明導(dǎo)電薄膜相對較高，透明導(dǎo)電薄膜的種類主要有金屬膜、氧化物膜信息。多層復(fù)合膜和高分子膜等相關，其中氧化物薄膜占主導(dǎo)地位。透明導(dǎo)電氧化物（TCO）薄膜主要包括In,Sn,Zn,Cd的氧化物及其復(fù)合多元氧化物薄膜豐富內涵。1907年Badeker首先制備并報(bào)道了Cdo透明導(dǎo)電薄膜生產效率，將物質(zhì)的透明性和導(dǎo)電性這一矛盾統(tǒng)一起來(lái)。在隨后的幾十年中適應性。人們發(fā)現(xiàn)和研究了多種材料的TCO薄膜節點，并不斷擴(kuò)大它們的用途。目前研究人員主要集中在對(duì)SnO2基落地生根、In2O3基以及ZnO 基透明導(dǎo)電薄膜的研究的特點，而摻錫In2O3（簡(jiǎn)稱ITO (Indium Tin Oxides氧化銦錫)薄膜又是當(dāng)前研究和應(yīng)用廣泛的透明導(dǎo)電薄膜健康發展。

（圖：常見的ITO薄膜結(jié)構(gòu)圖）

作為納米銦錫金屬氧化物，ITO薄膜具有很好的導(dǎo)電性系統、透明性和光電效應(yīng)非常重要，對(duì)可見光的透過(guò)率達(dá)95%以上，對(duì)紅外光的反射率達(dá)到70%空間廣闊，對(duì)紫光的吸收率大于等于85%以及具有導(dǎo)電性營造一處、加工性、高硬度知識和技能、耐腐蝕性取得顯著成效，因而在汽車擋風(fēng)玻璃、飛機(jī)舷窗實現、坦克激光測(cè)距儀不容忽視、機(jī)載光學(xué)偵察儀、隱形飛機(jī)的可能性、高級(jí)玻璃幕墻不要畏懼、顯示屏幕、太陽(yáng)能電池板問題、防護(hù)眼鏡等方面有著廣泛的應(yīng)用逐漸顯現。

透光率和電阻率是ITO薄膜兩個(gè)重要的性能指標(biāo)。

透光率是指ITO薄膜在可見光波段的總透過(guò)率系統穩定性，主要取決于膜層對(duì)光的反射率拓展基地，薄膜的厚度會(huì)對(duì)光在其中的透過(guò)率產(chǎn)生影響，當(dāng)厚度變大時(shí)透過(guò)率會(huì)減小實力增強。

激光共聚焦顯微鏡可以減少焦點(diǎn)以外反射信號(hào)的影響體系流動性，輕松檢測(cè)ITO薄膜的厚度以及樣品表面，同時(shí)也可對(duì)粗糙度帶來全新智能、線寬實現了超越、線距、斷線去完善、劃痕橋梁作用、異物等尺寸及外觀缺陷進(jìn)行快速有效的檢測(cè)。

使用激光共聚焦顯微鏡（NS3500求索， Nanoscope Systems, 韓國(guó)）測(cè)量ITO薄膜表面輪廓讓人糾結。

ITO Surface

ITO Pattern

結(jié)論

3D激光共聚焦顯微鏡，可以有效對(duì)ITO薄膜表面形貌表征穩定發展、薄膜缺陷分析至關重要、納米尺度壓痕3D重建、基于劃痕測(cè)試和殘余應(yīng)力分析數(shù)據(jù)的薄膜失效模式研究和薄膜與基板粘附力量話，以及磨損測(cè)試產(chǎn)生的粗糙度分析的發生，使用Nanoscope Systems 的激光共聚焦顯微鏡正常情況下可獲得測(cè)試結(jié)果組成部分。