LEXT OLS4500納米檢測顯微鏡是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的新型納米檢測顯微鏡發展目標奮鬥，可以實現(xiàn)從50倍到100萬倍的超大范圍的觀察和測量技術先進。
LEXT OLS4500納米檢測顯微鏡五大特點：
OLS4500為您帶來的解決方案
OLS4500實現(xiàn)了無縫觀察和測量
跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測量模式
裝配了激光掃描顯微鏡更多的合作機會，靈活應(yīng)對多種樣品
可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測量，也可用于信息量較多的面粗糙度測量
技術(shù)規(guī)格
| 主機(jī) 規(guī)格 |
| LSM部分 | 光源研學體驗、檢出系統(tǒng) | 光源：405 nm半導(dǎo)體激光、檢出系統(tǒng)：光電倍增管 |
| 總倍率 | 108～17,280X |
| 變焦 | 光學(xué)變焦：1～8X |
| 測量 | 平面測量 | 重復(fù)性 | 100x : 3σn-1=0.02μm最為突出、50x：3σn-1=0.04μm落實落細、20x：3σn-1=0.1μm |
| 正確性 | 測量值的±2%以內(nèi) |
| 高度測量 | 方式 | 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動方式 |
| 行程 | 10mm |
| 內(nèi)置比例尺 | 0.8nm |
| 移動分辨率 | 10nm |
| 顯示分辨率 | 1nm |
| 重復(fù)性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x：σn-1＝0.012μm高效化、20x：σn-1＝0.04μm |
| 正確性 | 0.2+L/100 μm以下（L＝測量長度） |
| 彩色觀察部分 | 光源製高點項目、檢出系統(tǒng) | 光源：白色LED、檢出系統(tǒng)：1/1.8英寸200萬像素單片CCD |
| 變焦 | 碼變焦：1～8X |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 6孔電動物鏡轉(zhuǎn)換器 |
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR範圍和領域、內(nèi)置偏振光片單元 |
| 物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復(fù)消色差透鏡20X有所增加、50X、100X |
| Z對焦部分行程 | 76 mm |
| XY載物臺 | 100 x 100 mm（電動載物臺） |
| SPM部分 | 運(yùn)行模式 | 接觸模式更高要求、動態(tài)模式越來越重要的位置、相位模式、電流模式*共同學習、表面電位模式（KFM）*順滑地配合、磁力模式（MFM）* |
| 位移檢出系統(tǒng) | 光杠桿法 |
| 光源 | 659 nm半導(dǎo)體激光 |
| 檢出設(shè)備 | 光電檢測器 |
| 掃描范圍 | X-Y： 30 μm x 30 μm、Z： 4.6 μm |
| 安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝效高。使用微懸臂安裝位置調(diào)整專用工裝夾具預(yù)對位前沿技術，更換支架時無需光學(xué)調(diào)整。 |
| 系統(tǒng) | 總重量 | 約440 kg（不包含電腦桌） |
| I額定輸入 | 100－120 V/220－240 V性能、600 VA多種方式、50/60 Hz |
*該功能為選項功能。
| 物鏡 規(guī)格 |
| 型號 | 倍率 | 視場 | 工作距離（W.D.） | 數(shù)值孔徑（N.A.） |
| MPLFLN5X | 108-864X | 2,560-320μm | 20.0mm | 0.15 |
| MPLAPON20XLEXT | 432-3,456X | 640-80μm | 1.0mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080-8,640X | 256-32μm | 0.35mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160-17,280X | 128-16μm | 0.35mm | 0.95 |
| 微懸臂 規(guī)格 |
| 用途 | 型號 | 類型 | 探針數(shù)量 | 微懸臂 | 探針 | 材質(zhì) | 金屬膜
涂層 |
| 共振頻率
(kHz) | 彈簧常數(shù)
(N/m) | 高度
(μm） | 前端半徑
(nm） | 探針／
微懸臂 | 探針涂層／
反射涂層 |
| 動態(tài)模式／
相位模式 | OMCL-AC160TS-C3 | 標(biāo)準(zhǔn)硅膠 | 24 | 300 | 26 | 14 | 7 | Si / Si | 無 / Al |
| OMCL-AC160BN-A2 | 高縱橫比硅膠 | 12 | 300 | 42 | 9 | 8 | Si / Si | 無／無 |
| OMCL-AC240TS-C3 | 低彈簧常數(shù)硅膠 | 24 | 70 | 2 | 14 | 7 | Si / Si | 無／Al |
| 接觸模式 | OMCL-TR800PSA-1 | 標(biāo)準(zhǔn)氮化硅 | 34 | 73 / 24 | 0.57 / 0.15 | 2.9 | 15 | SiN / SiN | 無／Au |
| 表面電位模式 | OMCL-AC240TM-B3 | 電氣測量專用硅膠 | 18 | 70 | 2 | 14 | 15 | Si / Si | Pt/Al |
• 微懸臂技術創新、探針的機(jī)械特性及尺寸均為代表值深入交流研討。
• 微懸臂非常小，請注意不要傷到眼睛或不小心吞咽廣泛應用。
• 電流模式需求、磁力模式中使用的微懸臂的詳細(xì)信息，請咨詢經(jīng)銷商組合運用。
• 除上表以外更讓我明白了，還有其他規(guī)格的微懸臂。經(jīng)銷商積極。
OLS4500為您帶來的解決方案
實現(xiàn)納米級觀測的新型顯微鏡探索。不會丟失鎖定的目標(biāo)。
涵蓋了低倍到高倍觀察很重要，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象能力和水平。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此異常狀況，光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法研究，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外應用創新，對于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對象提高，還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉（DIC）
觀察中的特性，可以進(jìn)行納米級微小凹凸的實時觀察交流。
縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。
放置好樣品后提供堅實支撐，所有的操作都在1臺裝置上完成推進一步。可以迅速簡單化，正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面力度，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
一體機(jī)的機(jī)型系統性，所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率勇探新路、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對新樣品。
OLS4500實現(xiàn)了無縫觀察和測量
【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象
使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法統籌推進， 迅速找到觀察對象
OLS4500采用了白色LED光源， 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像大大提高。它裝有4種物鏡的必然要求， 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長取得了一定進展， 除了使用的明視場觀察（BF）以外完善好， 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比大面積， 達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察（DIC）， 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察問題分析。此外培養， OLS4500上還配有HDR功能（高動態(tài)范圍功能）， 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進(jìn)行合成更加完善， 來顯示亮度平衡更好形式、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象資源配置。
使用激光顯微鏡奮戰不懈，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的專用物鏡， 實現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率措施。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無法看到的觀察對象取得顯著成效。在激光微分干涉（DIC）模式中還可以實時觀察納米級的微小凹凸。
【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象實現，在SPM上正確完成觀察
實現(xiàn)了無縫觀察不容忽視，不會丟失觀察對象
OLS4500在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡， 以及小型SPM單元服務體系。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍不要畏懼、100倍的實時觀察中， 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心問題， 所以把觀察目標(biāo)點對準(zhǔn)該位置后逐漸顯現， 只要切換到探針顯微鏡全會精神， 就能夠正確接近觀察對象。因此拓展基地， 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像集中展示， 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。
不會在SPM觀察中迷失的體系流動性、可切換式向?qū)Чδ?/h4>
【納米級測量】簡單操作長遠所需，可以迅速獲得測量結(jié)果
新開發(fā)的小型SPM測頭， 減少了影像瑕疵
使用向?qū)Чδ埽杂煞糯骃PM影像
使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率逐漸完善。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描參與能力， 就可以獲取所需的SPM影像V泛認同？梢宰杂稍O(shè)置掃描范圍註入了新的力量， 所以大幅度提高了觀察和測量的效率講理論。
向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍
優(yōu)異的分析功能激發創作， 應(yīng)對各種測量目的
跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測量模式
接觸模式
控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時數據， 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描， 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度發揮。還可以進(jìn)行彎曲測量顯著。
動態(tài)模式
使微懸臂在共振頻率附近振動， 并控制Z方向的距離使振幅恒定開放以來， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度占。特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。
相位模式
在動態(tài)模式的掃描中提供了有力支撐， 檢測出微懸臂振動的相位延遲激發創作。可以在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差進一步意見。
電流模式
對樣品施加偏置電壓增幅最大，檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外的必然要求，還可以進(jìn)行I/V測量研究成果。
表面電位模式（KFM）
使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓， 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電進一步推進， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位導向作用。也稱作KFM（Kelvin Force Microscope）。
磁力模式（MFM）
在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描綜合措施， 檢測出振動的微懸臂的相位延遲， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息自然條件。也稱作MFM（Magnetic Force Microscope）設計標準。
裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應(yīng)對多種樣品
輕松檢測85°尖銳角
采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能限度發(fā)揮405 nm 激光性能）意料之外，LEXT OLS4500 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品文化價值。
高度分辨率10 nm形式，輕松測量微小輪廓
由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡， OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率不斷完善。因此進一步提升， 可以對樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯的亮度檢測技術(shù)營造一處， OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差改革創新。此外， 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標(biāo)——“正確性”（測量值與真正值的接近程度）和“重復(fù)性”（多次測量值的偏差程度）的性能取得顯著成效。
從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域
高倍率影像容易使視場范圍變小新模式，而通過設(shè)置，OLS4500的拼接功能最多可以拼接625幅影像不容忽視，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)組織了。不僅如此，還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測量說服力。
可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測量搶抓機遇，也可用于信息量較多的面粗糙度測量
越來越重要的表面粗糙度測量
在面粗糙度測量中詳細(xì)掌握粗糙度的分布和特點
在非接觸式表面粗糙度測量中設計能力， 除了線粗糙度還可以測量面粗糙度品牌。在面粗糙度測量中可以掌握樣品表面上區(qū)域內(nèi)粗糙度分布和特點， 并能夠與3D影像對照評價求得平衡。OLS4500可以根據(jù)不同樣品和使用目的紮實做， 分別使用激光顯微鏡功能或探針顯微鏡功能測量表面粗糙度。
OLS4500的粗糙度參數(shù)
參數(shù)兼容性
OLS4500具有與接觸式表面粗糙度測量儀相同的表面輪廓參數(shù)至關重要，因此具有相互兼容的操作性和測量結(jié)果提供深度撮合服務。
適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4500具有符合ISO25178的粗糙度（3D）參數(shù)。通過評估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高可靠性的分析組成部分。
OLS4500的顯微鏡技術(shù)
光學(xué)顯微鏡的原理和特長
激光顯微鏡的原理和特長
可進(jìn)行亞微米級觀察和測量的激光顯微鏡（LSM:Laser Scanning Microscope)
的Z軸測量
探針顯微鏡的原理和特長
可以觀察納米級微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)
通過微懸臂掃描進(jìn)行納米觀察
多種觀察模式在影像中呈現(xiàn)表面形狀和物性
決定高精細(xì)度現場、高質(zhì)量影像的微懸臂
探針位于長度約100μm～200μm的薄片狀微懸臂的前端高端化。您可以根據(jù)樣品選擇不同的彈簧常數(shù)、共振頻率我有所應。反復(fù)掃描會磨損探針提單產， 所以請根據(jù)需要定期更換微懸臂探針。
