1分辨率：
1.1寬度測(cè)量顯示分辨率≤1nm。
1.2高度測(cè)量顯示分辨率≤0.8 nm建設項目。
2光源要求：
2.1激光部分：采用405nm短波長半導(dǎo)體激光器最為突出，安全等級(jí)CLASS 2（輸出功率≤1mW）。
2.2可見光部分：長壽命LED光源相結合。
2.3光掃描型觀察裝置：通過對(duì)激光的掃描而得到的信號(hào)進(jìn)行取樣高效化，將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。
3采用激光雙光路共焦系統(tǒng)為產業發展。
4放大倍數(shù)：110倍——17000倍範圍和領域。
5載物臺(tái)要求：
5.1控制方式：電動(dòng)載物臺(tái)。
5.2載物臺(tái)行程范圍：X向不小于100mm各項要求，Y向不小于100mm更高要求。
（大工作臺(tái)可定制）
6物鏡要求：
6.1提供不少于5X、10X新技術、20X共同學習、50X順滑地配合、100X、20X（超長焦）物鏡共計(jì)6顆效高。
6.2其中20X前沿技術、50X、100X均為405納米激光LEXT專用平場(chǎng)復(fù)消色差（APO）物鏡性能。數(shù)值孔徑（N.A.）分別不小于0.60多種方式、0.90、0.95新創新即將到來。
6.3其中20倍超長焦物鏡工作距離不小于25mm邁出了重要的一步。
7物鏡轉(zhuǎn)換器：5孔電動(dòng)編碼型物鏡轉(zhuǎn)換器。
8可觀察試樣高度：0—95mm重要工具。
9軟件要求：
9.1功能包括：長度積極拓展新的領域、高度、角度更優質、面積相對開放、體積測(cè)量。其中高度測(cè)量根據(jù)相機(jī)上成像的多個(gè)位置的分段圖像的像素的亮度信息脫穎而出，求出IZ峰值位置拓展應用，獲得上述試樣的高度信息，上述IZ峰值位置是根據(jù)表示亮度I和Z軸方向的焦點(diǎn)位置之間的關(guān)系的I-Z特性求出的更大亮度位置結構。
9.2粗糙度測(cè)量功能：軟件操作界面具有單獨(dú)粗糙度測(cè)量模塊管理，取樣長度d不低于50mm，測(cè)量精度符合國際標(biāo)準(zhǔn)ISO4287能力建設。
9.3自動(dòng)三維拼圖功能模樣。軟件具備操作向?qū)Чδ芗昂暧^地圖功能。
10計(jì)算機(jī)要求：XeonCPU/8G內(nèi)存/500GB硬盤/DVD-RW光驅(qū)/24寸專業(yè)液晶顯示器服務。
11具備升級(jí)為原子力功能很重要。
