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RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)

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RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)可對樣品進(jìn)行49點反應能力、81點、中心1點學習、中心10點結構重塑、中心半徑5點聽得懂、中心邊緣5點、中心半徑邊緣9點高質量發展、直徑掃描等測試

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RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)

可對樣品進(jìn)行49點便利性、81點、中心1點重要平臺、中心10點深刻認識、中心半徑5點、中心邊緣5點應用提升、中心半徑邊緣9點主動性、直徑掃描等測試;統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)生成2D和3D的map圖發展的關鍵;
屏蔽測試道路,消除光對樣品測試的影響,保證測量的準(zhǔn)確性多種方式;
真空吸附防止全自動測試過程中樣品移動對測試的影響對外開放;
一體化嵌入式設(shè)計,觸控電腦屏幕操作深入交流研討,手指點點就可以完成操作資料;
RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的關註度,專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設(shè)備橫向協同。通過全自動測試系統(tǒng),對晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測量敢於挑戰,繪制出等值線圖后不斷創新,從而直接觀察到整個晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。
RTS-1389型全自動四探針測試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測量技術(shù)提供了遵循,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上參與水平。利用電流探針和電壓探針的組合變換,進(jìn)行兩次電測量服務效率,其最后計算結(jié)果能自動消除由樣品幾何尺寸明確相關要求、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的,對測量結(jié)果的不利影響主要抓手。因而在測試過程中體製,在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素創新科技。這種動態(tài)地對以上不利因素的自動修正服務延伸,顯著降低了其對測試結(jié)果的影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。
RTS-1389型全自動四探針軟件測試系統(tǒng)擁有友好操作測試界面進一步,通過此測試程序輔助用戶簡便地進(jìn)行各項測試操作大部分,把采集到的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析,然后把測試數(shù)據(jù)以Excel表格實際需求,2D解決方案、3D等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來善謀新篇。方便用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析增產,用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,
技 術(shù) 指 標(biāo)
測量范圍
電阻率:10-5~105 Ω.cm方法;
方塊電阻:10-4~106 Ω/□行動力;
可測晶片尺寸
2英寸~12英寸;(太陽能電池片≤210mm*210mm)
恒流源
電流量程分為1μA發揮作用、10μA良好、100μA、1mA銘記囑托、10mA引領、100mA六檔
采樣電壓范圍
量程:000.00~199.99mV;(低阻擴(kuò)展時,量程:00.000~19.999mV)    
分辨力:10μV示範;(低阻擴(kuò)展時應用前景,分辨力:1μV)
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1%製度保障;
四探針探頭基本指標(biāo)
間距:1±0.01mm預下達;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ的有效手段;
機(jī)械游移率:≤0.3%統籌推進;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力)關鍵技術;
模擬電阻測量相對誤差
0.01Ω了解情況、0.1Ω、1Ω技術研究、10Ω重要的、100Ω、1000Ω姿勢、10000Ω≤0.2%
整機(jī)測量相對誤差
(用硅標(biāo)樣片:0.003-500Ω.cm 測試)≤±3% (23℃)
重復(fù)性
≤±0.5%
最小去邊距離
3mm
自動測試選點方式
49點相互融合、81點、中心1點綠色化、中心10點不同需求、中心半徑5點、中心邊緣5點、中心半徑邊緣9點總之、直徑掃描面向。
測試數(shù)據(jù)處理
以Excel格式文件表格記錄測試數(shù)據(jù),并生成2D研學體驗、3D的 map圖建設項目。用戶可對采集的數(shù)據(jù)在Excel中進(jìn)行進(jìn)一步的各種數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析。
屏蔽和吸附測試
對樣品進(jìn)行屏蔽和真空吸附測試落實落細,消除光和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響自動化,保證測量的準(zhǔn)確性。
外形尺寸
580mm×475mm×450mm(深×寬×高)
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度:23±2℃高品質;
相對濕度:≤65%落地生根;
無高頻干擾;
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