| 測量范圍 | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)緊迫性；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)結構；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm高效；
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| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)應用優勢；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)全方位； |
| 恒流源 | 電流量程分為0.1mA高效節能、1mA、10mA大局、100mA四檔新創新即將到來，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV有序推進；
輸入阻抗：>1000MΩ設施；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示堅定不移；極性組合運用、超量程自動顯示； |
| 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm迎難而上；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ競爭力；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm進一步完善；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)集聚； |
| 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.1Ω競爭力、1Ω、10Ω狀況、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| 整機(jī)測量相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
| 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
軟件功能（選配） | 軟件可記錄機製性梗阻、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)全過程，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)值集成應用、最小值、平均值不負眾望、百分變化高效流通、平均百分變化、徑向不均勻度精準調控、并將數(shù)據(jù)生成直方圖功能，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析解決。軟件還可選擇自動測量功能預期，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
| 計算機(jī)通訊接口 | 并口攜手共進，高速并行采集數(shù)據(jù)共同，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒 |
| 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%經過；
無高頻干擾簡單化；
無強(qiáng)光直射； |
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