RTS-2/RTS-2A型便攜式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備醒悟。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測量硅晶塊高質量、晶片電阻率及擴(kuò)散層也逐步提升、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜註入了新的力量、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器重要的作用。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配去創新。具有功能選擇直觀足夠的實力、測量取數(shù)快緊迫性、精度高、測量范圍寬更適合、穩(wěn)定性好高效、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)要素配置改革。如有需要可加配測試臺使用體系。
本儀器廣泛應(yīng)用于太陽能單晶（多晶）生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測試，半導(dǎo)體材料廠核心技術體系、半導(dǎo)體器件廠開拓創新、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試必然趨勢。
RTS-2便攜式四探針測試儀測量范圍
電阻率：0.01～1999.9Ω.cm促進善治；
方塊電阻：0.1～19999Ω/□；
RTS-2A測量范圍
電阻率：0.001～199.99Ω.cm多樣性；
方塊電阻：0.01～1999.9Ω/□發揮效力；
RTS-2恒流源電流量程分為100μA、1mA兩檔明顯，各檔電流連續(xù)可調(diào)
RTS-2A恒流源電流量程分為1mA安全鏈、10mA兩檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式：000.00～199.99mV創新為先；
分辨力：10μV真正做到；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% 創新延展；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示調整推進；極性、超量程自動(dòng)顯示機製性梗阻；
四探針探頭基本指標(biāo)：
間距：1±0.01mm機製；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%集成應用；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm探討；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差( 按JJG508-87進(jìn)行)
1Ω高效流通、10Ω調解製度、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量大相對誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%
外型尺寸125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深)
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%有效性；
無高頻干擾創新內容；
無強(qiáng)光直射；
