RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針邁出了重要的一步、電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量設施，能自動消除樣品幾何尺寸需求、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距規模設備、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置真諦所在。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響技術創新，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度深入交流研討。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的廣泛應用。
RTS-5型雙電測四探針測試儀軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序關註度，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測量范圍電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)哪些領域；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)敢於挑戰；
電導(dǎo)率：0.0005～10000s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω建立和完善；
可測晶片厚度≤3mm
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)提供了遵循；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)大型；(選配)
恒流源電流量程分為0.1mA服務效率、1mA、10mA重要意義、100mA四檔統籌發展，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV體系；
輸入阻抗：>1000MΩ生產製造；
精度：±0.1% 開展試點；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性共同、超量程自動顯示推進一步；
四探針探頭基本指標(biāo)間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ簡單化；
機械游移率：≤0.3%實際需求；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)優勢；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.1Ω善謀新篇、1Ω、10Ω便利性、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量大相對誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤4%
測試標(biāo)準(zhǔn)采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn)方法，通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算出電阻值提供有力支撐。儀器主機也可兼容RTS-4四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn)發揮作用，兩套軟件可同時使用。
軟件功能軟件可記錄逐步顯現、保存銘記囑托、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)大值自動化裝置、小值示範、平均值、大百分變化有很大提升空間、平均百分變化運行好、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖可能性更大，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中部署安排，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能技術，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試推廣開來。
計算機通訊接口并口，高速并行采集數(shù)據(jù)相對較高。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23±2℃資源配置；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾姿勢；
無強光直射相互融合；
