可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能技術節能，自動選擇適合樣品測試電流量程指導；
高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5秒國際要求；
RTS-4型四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備流動性。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器競爭激烈。
儀器由主機持續創新、測試臺、四探針探頭空白區、計算機等部分組成協調機製，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析充分發揮，然后以表格高質量，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子技術進行設計選擇適用、裝配。具有功能選擇直觀設計、測量取數快業務指導、精度高、測量范圍寬就此掀開、穩(wěn)定性好積極性、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠實施體系、半導體器件廠組建、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試效果較好。
RTS-4型四探針測試儀軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序重要的意義，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據等多個領域，把采集到的數據在計算機中加以分析再獲，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄應用擴展、顯示出來體驗區。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中活動上，讓用戶對數據進行各種數據分析
技術指標 ：
測量范圍
電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)有望；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；
電導率：0.0005～10000s/cm導向作用；
電阻：0.0001～2000Ω方案；
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)堅持好；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)即將展開；
恒流源：電流量程分為0.1mA、1mA特性、10mA傳承、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調
數字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mV建言直達；
分辨力：10μV多種；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% 充分發揮；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數字顯示發展成就；極性、超量程自動顯示重要方式；
四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm開展面對面；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%無障礙；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm連日來；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.1Ω認為、1Ω系統、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量大相對誤差 (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
軟件功能（選配）軟件可記錄、保存交流等、打印每一點的測試數據更加廣闊，并統(tǒng)計分析測試數據大值、小值提高、平均值可以使用、大百分變化、平均百分變化各領域、徑向不均勻度應用領域、并將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中進行培訓，對數據進行各種數據分析發展機遇。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試法治力量。
計算機通訊接口：并口全技術方案，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5秒
標準使用環(huán)境 溫度：23±2℃共享；
相對濕度：≤65%信息化；
無高頻干擾；
無強光直射生動；
