功能描述：
四點(diǎn)探針法不容忽視，全自動(dòng)化運(yùn)行測量系統(tǒng)，PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理服務體系；參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻說服力；可設(shè)定探針壓力值、測試點(diǎn)數(shù)效高化、多種測量模式選擇新體系；真空環(huán)境，可顯示：方阻發展機遇、電阻率長效機製、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值全技術方案、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件. 報(bào)表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析.
FT-3110系列全自動(dòng)四探針測試儀
二.適用范圍
晶圓分享、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片信息化；表面鈍化片方式之一；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；*電極設(shè)計(jì)新型儲能，如電鍍銅電阻測量等創新能力；半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料範圍，納米材料求得平衡，太陽能電池，LCD空間廣闊，OLED至關重要，觸摸屏等.
三.技術(shù)參數(shù)：
| 規(guī)格型號(hào) | FT-3110A | FT-3110B |
| 1.電阻 | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω |
| 2.方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
| 3.電阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
| 4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA，100µA服務品質，1mA的發生， 10mA組成部分，100mA | 1A、100mA新的動力、10mA的過程中、1mA、100uA廣泛關註、10uA促進進步、1uA、0.1uA |
| 5.電流精度 | ±0.1% |
| 6.電阻精度 | ≤0.3% |
| 7.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻優勢領先、電阻率競爭激烈、電導(dǎo)率、方阻改善、溫度智慧與合力、單位換算、電流重要的角色、電壓開放要求、探針形狀、探針間距平臺建設、厚度 服務機製、2D、3D圖譜使用、壓力大幅拓展、 報(bào)表生成等 |
| 8.壓力范圍： | 探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào) |
| 9.探針 | 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)更加堅強，探針間距1mm與時俱進；2mm；3mm選配初步建立，其他規(guī)格可定制 |
| 10.可測晶片 尺寸選購 | 晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm綜合運用，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
| 11.分析模式 | 單點(diǎn)的方法、五點(diǎn)實事求是、九點(diǎn)、多點(diǎn)落到實處、直徑掃描服務水平、面掃描等模式的自動(dòng)測試 |
| 12.加壓方式 | 測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% |
| 13.安全防護(hù) | 具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào) |
| 14.測試環(huán)境 | 真空 |
| 15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W |
| 16.選購項(xiàng)目 | 電腦和打印機(jī) |
