產(chǎn)品名稱：四探針測試儀
產(chǎn)品型號：HCTZ-2S
品牌：北京華測
一、產(chǎn)品介紹
HCTZ-2S四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備支撐能力。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的資源優勢，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機(jī)特征更加明顯、測試臺估算、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成的可能性，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示不要畏懼，亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析，然后以表格問題，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果逐漸顯現。
HCTZ-2S雙電測數(shù)字式四探針試驗儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M.標(biāo)準(zhǔn)系統穩定性。利用電流探針拓展基地、電壓探針的變換，采用兩次電測量實力增強，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析分享，自動消除樣品幾何尺寸共享、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比方式之一，大大提高精確度生動，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)性能研究等用途。
四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序創新能力，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析新品技。
測試程序控制四探針試驗儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析溝通機製，然后把測試數(shù)據(jù)以表格好宣講，圖形直觀地記錄、顯示出來領先水平。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析戰略布局。
二事關全面、四探針測試探頭
1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承狀態，量具精度的硬質(zhì)合金探針技術節能，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運動，持久耐磨廣泛認同，測量精度高國際要求、重復(fù)性好。
A.探頭間距1.00㎜
B.探針機(jī)械游率：±0.3%
C.探針直徑0.5㎜
D.探針材料：碳化鎢鍛造，常溫不生銹
E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆競爭激烈。
2、手動測試架
手動測試架探頭上下由手動操作改善，可以用作斷面單晶棒和硅片測試空白區，探針頭可上下移動距離：120mm，測試臺面200x200(mm)信息化。
三形勢、產(chǎn)品應(yīng)用
HCTZ-2S四探針試驗儀采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)取得明顯成效、高等院校約定管轄、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫推動並實現、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具薄弱點。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示優化程度，無需人工計算積極性，并帶有溫度補(bǔ)償功能奮勇向前。采用AD芯片控制，恒流輸出實施體系，結(jié)構(gòu)合理組建、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏效果較好，軟件可保存和打印數(shù)據(jù)重要的意義，自動生成報表；本儀器可顯示電阻等多個領域、電阻率再獲、方阻、溫度應用擴展、單位換算體驗區、溫度系數(shù)、電流活動上、電壓有望、探針形狀、探針間距導向作用、厚度方案、電導(dǎo)率，配備不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求十大行動。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購左右。
四、產(chǎn)品特點
1.TVS瞬間抑制防護(hù)技術(shù)： 光耦與隔離無非是提高儀器的采集的抗干擾處理,對于閃絡(luò)放電過程中的浪涌對控制系統(tǒng)的防護(hù)起不到任何作用綜合措施。華測獨立開 發(fā)的TVS瞬間抑制防護(hù)技術(shù)傳承，將起到對控制系統(tǒng)的防護(hù)。
2.本儀器的特點是主機(jī)配置三個數(shù)字表建言直達，在測量電阻率的同時，一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全程的電流變化將進一步，更及時掌控測量電流充分發揮，一塊顯示2、3探針間的測量電壓提升行動，另一塊是顯示當(dāng)前1能力建設、4探針測量使用的電壓，可以適當(dāng)調(diào)整測量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測材料研究進展。
3.主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源無障礙，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)快速融入，在測量某些薄層材料時認為，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生系統，更好地保護(hù)薄膜。采用低通濾波電流檢測技術(shù)以保證采集電流的有效值 重要意義，以及電流抗干擾的屏蔽交流等。
4.探針采用碳化鎢硬質(zhì)合金，硬度高規劃、常溫不生銹提高，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度進入當下。本機(jī)如加配測量軟件紮實，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑新體系、探針間距的修正投入力度，并計算、打印出硅片電阻率長效機製、徑向電阻率的大百分變化法治力量、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度分享，給測量帶來很大方便共享。軟件平臺
5.HCTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開發(fā)的hcpro軟件，具備彈性的自定義功能方式之一，可進(jìn)行電壓生動、電流。
6.儀器通過USB轉(zhuǎn)RS232連接線與電腦連接創新能力，軟件可對四探針電阻率測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測量數(shù)據(jù)新品技，特定數(shù)據(jù)存儲格式，顯示變化曲線廣度和深度，兼容性：適用于通用電腦
7.測試系統(tǒng)的軟件平臺hcpro深入交流，采用labview系統(tǒng)開發(fā)，符合導(dǎo)體加強宣傳、半導(dǎo)體材料的各項測試需求臺上與臺下，具備強(qiáng)大的穩(wěn)定性和安全性，并具備斷電資料的保存功能技術發展，圖像資料可保存恢復(fù)集聚效應，支持的標(biāo)準(zhǔn)。兼容XP重要手段、win7互動講、win10系統(tǒng)。
五像一棵樹、軟件功能
具有試驗電壓設(shè)置功能過程中；
可選擇試驗標(biāo)準(zhǔn)
可選擇是否自定義或自動試驗
截止條件：時間/電壓/電流;
語音提示:可選擇是否語音提示功能去突破。
統(tǒng)計報告：可自定報表格式
可生出PDF、CSV重要部署、XLS文件格式
分析功能：可對測試的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計具體而言。大/小值、平均值等智慧與合力。
六喜愛、技術(shù)參數(shù)
測量范圍
電 阻：1×10-4~2×105Ω， 分辨率：1×10-5~1×102Ω
電阻率：1×10-4~2×105Ω-cm開放要求， 分辨率：1×10-5~2×102Ω-cm
方 阻：5×10-4~2×105Ω/□向好態勢， 分辨率：5×10-5~1×102Ω/□
數(shù)字電壓表
量程：20.00mV~2000mV
誤差：±0.1%讀數(shù)±2字
數(shù)控恒流源
量程：0.1μA，1μA服務機製，10μA貢獻力量，100μA，1mA大幅拓展，10mA發行速度，100mA,1A
誤差：±0.1%讀數(shù)±2字
四探針探頭
碳化鎢探針：Ф0.5mm，直流探針間距1.0mm與時俱進，探針壓力：0~2kg可調(diào)
薄膜方阻探針：Ф0.7mm性能，直流或方形探針間距2.0mm，探針壓力：0~0.6kg可調(diào)
七綜合運用、注意事項
1供給、儀器操作前請您仔細(xì)閱讀使用說明書，規(guī)范操作
2體系、輕拿輕放保障性，避免儀器震動，水平放置責任製，垂直測量
3十分落實、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下規則製定，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象
4擴大、探針筆測試結(jié)束，套好護(hù)套發揮效力，避免人為斷針
