美國四探針電阻率/方塊電阻測試儀
美國4D公司的四探針/方塊電阻/電阻率測試設(shè)備：280SI （普及型號）
· 測量尺寸：晶圓尺寸：2-8寸（333系列可測量大至12寸晶圓供給，1100系列可測量大至2160mmX2400mm平板系列）
方形片：大至156mm X 156mm的方法；
· 測量范圍： 0.001歐姆/平方 至 800000歐姆/平方（標(biāo)準(zhǔn)型）；
可往下擴展至：0.0001歐姆/平方進行探討，往上擴展至8e9或8e11歐姆/平方落到實處。相對應(yīng)的電阻率，薄膜厚度根據(jù)不同材料不同應(yīng)用而不同最新，但都是以方塊電阻作為基礎(chǔ)設(shè)備自動計算得出技術創新，注意這是選項價格要高不少處理方法，建議客戶按實際需求選擇購買。
· 測量方式： 電腦程序自動測量多樣性，或不連電腦單測量主機也可實現(xiàn)測量和數(shù)據(jù)顯示發揮效力，此時非常適合測試不規(guī)整樣片單點測量，適合實際研究需要明顯。
· 測量的數(shù)據(jù)： 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度安全鏈，根據(jù)具體應(yīng)用可以設(shè)置不同測量程序。
· 測量的點數(shù)： 程序編排任意測量點位置及測量點數(shù)量創新為先，對應(yīng)不同客戶不同測量要求任意編程測量點位置與數(shù)量真正做到。
· 測量的準(zhǔn)確度：<0.1% （標(biāo)準(zhǔn)模阻）；
· 測量重復(fù)性：<0.2% （特定片子）創新延展；
· 測量速度：>45點/分鐘強化意識；
· 測量數(shù)據(jù)處理：根據(jù)需要顯示2D,3D數(shù)值圖，或按要求統(tǒng)計并輸出Excel格式文件基本情況；
· 邊緣修正：具有邊緣修正功能現場，即片子邊緣3mm以內(nèi)區(qū)域都能測量；
· 探針材料：鎢鋼與硅片的接觸電阻小力量，且耐磨我有所應。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍寶石材料，以確保長時間使用后間距的一致性深入實施；
· 探針壓力可調(diào)范圍：90-200克之間可調(diào)至關重要；
· 可供選擇的探頭類型：根據(jù)測試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號探頭選擇，另外還可提供專門為客戶定制的應(yīng)用特殊要求的探針效果，比如測試薄至30A的薄膜時需要使用MR型探頭有所應，這是四探針設(shè)備供應(yīng)商少有能做到的。
· 設(shè)備應(yīng)用：
IC FAB/FP dispaly/LED：擴散合作關系，離子注入等摻雜工藝監(jiān)控調(diào)試著力提升，薄膜電阻率或厚度測量等工序，如Intel傳遞，IBM重要意義，Motorola，TSMC更加廣闊，CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...
材料類研究：杜邦（中國）規劃，電力科學(xué)院，中科院可以使用，山東科學(xué)院適應性，清華大學(xué)，北京大學(xué)稍有不慎，復(fù)旦大學(xué)重要作用，華師大等地，電子科大，國家標(biāo)準(zhǔn)化所尤為突出，質(zhì)檢所規定，光伏科學(xué)與技術(shù)國家重點實驗室,Applied Materials, Materials Research...
新能源：尚德，晶澳空間載體，英利高質量，阿特斯，天合重要組成部分，LDK流程，海潤，騰暉勃勃生機，鑫輝助力各業，東磁，向日葵提供有力支撐，奧特斯維應用，尖山，晶科品率，力諾相貫通，韓華，神舟技術發展，光為集聚效應，艾力克集成，吉陽重要手段，東營，中盛穩定性，F(xiàn)irst solar,Solar world...
美國四探針電阻率/方塊電阻測試儀
· 客戶群廣：國內(nèi)已經(jīng)賣出近300臺之多像一棵樹，*累計各種型號四探針設(shè)備近千臺。
· 使用成本
4D公司所提供的探針質(zhì)保次數(shù)是25萬次去突破，而實際從客戶反饋的信息是壽命達到100萬次以上能運用，甚至150萬次以上。同時4D還為客戶提供探頭的探針更換服務(wù)智能設備，大大降低客戶的使用成本情況正常。
· *高
國內(nèi)行業(yè)內(nèi)有幾百臺的占有率，公司品牌4D已經(jīng)成為四探針的代名詞技術特點；
根據(jù)應(yīng)用不同工藝要求對應(yīng)的探針類型詳細說明：
測量數(shù)據(jù)電腦圖（2D/3D）
各類型四探針設(shè)備說明：
根據(jù)客戶不同使用要求有更多選擇
* 使用液體金屬汞探針替代傳統(tǒng)硬探針的四探針設(shè)備提高鍛煉，如：M4PP 3093;
* 針對III IV族化合物材料，應(yīng)用“dynamic AC waveform”克服測量的接觸電阻問題凝聚力量，該型號為：680I有所提升；
* 根據(jù)不同應(yīng)用要求聽得進，可增加的功能有：溫度控制/補償，邊緣修正先進水平，樣品臺定制便利性，自動化要求定制，探頭自動切換重要平臺，通訊接口擴展深刻認識，測量范圍擴展等。
