功能描述：
四點探針法深刻認識，全自動化運行測量系統(tǒng)，PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理應用提升；參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻主動性；可設(shè)定探針壓力值、測試點數(shù)發展的關鍵、多種測量模式選擇基礎；真空環(huán)境性能，可顯示：方阻、電阻率對外開放、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖技術創新、溫濕度值、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件. 報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
FT-3110系列全自動四探針測試儀
二.適用范圍
晶圓資料、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量廣泛應用；選擇性發(fā)射極擴散片；表面鈍化片橫向協同；交叉指樣PN結(jié)擴散片哪些領域；*電極設(shè)計，如電鍍銅電阻測量等不斷創新；半導(dǎo)體材料分析建立和完善，鐵電材料，納米材料堅持先行，太陽能電池產業，LCD，OLED情況較常見，觸摸屏等.
三.技術(shù)參數(shù)：
規(guī)格型號 | FT-3110A | FT-3110B |
1.電阻 | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω |
2.方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
3.電阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA可持續，100µA，1mA體製， 10mA構建，100mA | 1A、100mA服務延伸、10mA共創輝煌、1mA、100uA進一步、10uA大部分、1uA、0.1uA |
5.電流精度 | ±0.1% |
6.電阻精度 | ≤0.3% |
7.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻實際需求、電阻率解決方案、電導(dǎo)率、方阻善謀新篇、溫度增產、單位換算、電流還不大、電壓高產、探針形狀、探針間距發揮作用、厚度 良好、2D逐步顯現、3D圖譜、壓力引領、 報表生成等 |
8.壓力范圍： | 探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào) |
9.探針 | 針間絕緣電阻：≥1000MΩ傳遞；機械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm勞動精神；2mm開展攻關合作；3mm選配，其他規(guī)格可定制 |
10.可測晶片 尺寸選購 | 晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm預下達，12寸300mm）的有效手段； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
11.分析模式 | 單點、五點方案、九點關鍵技術、多點、直徑掃描深入、面掃描等模式的自動測試 |
12.加壓方式 | 測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% |
13.安全防護 | 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 |
14.測試環(huán)境 | 真空 |
15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W |
16.選購項目 | 電腦和打印機 |
