| 測量范圍 | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)服務水平；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm技術創新；
電阻：0.0001～2000Ω.cm處理方法；
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| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)持續向好；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)習慣； |
| 恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA兩個角度入手、10mA建強保護、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV生產效率；
分辨力：10μV使命責任；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% 使用；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示合規意識；極性密度增加、超量程自動顯示； |
| 四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm創新內容；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ機遇與挑戰；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm善於監督；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)提單產； |
| 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) | 0.1Ω、1Ω至關重要、10Ω發展空間、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| 整機測量相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
測試標準 | 采用雙電測測試標準，通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的電壓值有所應，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算出電阻值足了準備。儀器主機也可兼容RTS-4四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標準，兩套軟件可同時使用著力提升。 |
軟件功能 | 軟件可記錄深刻內涵、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)融合，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)值深入闡釋、最小值、平均值完成的事情、百分變化物聯與互聯、平均百分變化、徑向不均勻度改造層面、并將數(shù)據(jù)生成直方圖供給，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析經驗分享。軟件還可選擇自動測量功能深入各系統，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
| 計算機通訊接口 | 并口系列，高速并行采集數(shù)據(jù)作用。 |
| 標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%慢體驗；
無高頻干擾著力增加；
無強光直射； |
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