| 測量范圍 | 電阻率：10-7～10-2 Ω.cm創新能力；
方塊電阻：10-6～10-1 Ω/□；
電導率：102～107 s/cm範圍；
電阻：10-7～10-2 Ω求得平衡； |
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)空間廣闊；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)至關重要； |
| 恒流源 | 電流量程分為0.1A、1A服務品質、10A三檔的發生，各檔電流連續(xù)可調 |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：00.000～19.999mV；
分辨力：1μV影響；
輸入阻抗：＞1000MΩ狀態；
精度：±0.5%；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示指導；極性廣泛認同、超量程自動顯示； |
| 四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm更高效；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ全面協議；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm具體而言；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)工具； |
| 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) | 0.0001Ω、0.001Ω喜愛、0.01Ω≤0.5％±1字 |
| 整機測量相對誤差 | 用標準電阻（0.0001Ω～0.01Ω）測試≤±3％ |
軟件功能（選配） | 軟件可記錄重要的角色、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)向好態勢，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)值平臺建設、最小值、平均值貢獻力量、百分變化使用、平均百分變化、徑向不均勻度發行速度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖更加堅強，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析性能。軟件還可選擇自動測量功能初步建立，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試綜合運用。 |
| 計算機通訊接口 | 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)的方法，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒 |
| 標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃效果較好；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾持續；
無強光直射等多個領域； |
專用于測試低阻金屬材料電阻率及方塊電阻
點擊放大圖片
