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MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡

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MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡主要操作部件集中在前面,操作人員易于操作競爭力所在,即使長時間操作也不會感到疲勞引人註目。150mm載物臺內置離合器,可實現(xiàn)輕松移動溝通機製。

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MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡 詳細介紹:

考慮了檢查效率的設計 高靈敏度載物臺可以迅速決定位置


內置離合器的載物臺手柄
MX51主要操作部件集中在前面好宣講,操作人員易于操作,即使長時間操作也不會感到疲勞實現了超越。150mm載物臺內置離合器新產品,可實現(xiàn)輕松移動。

電動物鏡轉換器示意圖
電動物鏡轉換器示意圖 電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%橋梁作用。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬時間完成損耗,提高了檢查速度成就。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇就此掀開。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度基石之一。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機,在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離增持能力。

鮮明圖像和的分辨率為特點的光學系 多種選擇可實現(xiàn)的成像性能

UIS2物鏡擁有各種倍率的發生、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容,可按照用途選用影響。另外新的動力,波像差控制帶來的高品質,忠實于樣本的中性色彩顯示等發展契機,UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能廣泛關註。

觀察影像實例


明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

豐富的產品陣容,可按需選擇
MPLAPON 平場復消色差透鏡 MPLFLN 平場半復消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場用平場半復消色差透鏡
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場半復消色差透鏡
LMPLFLN 長工作距離平場半復消色差透鏡
LMPLFLN-BD 明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡
MPLN 平場消色差透鏡
MPLN-BD 明暗視場用平場消色差透鏡
SLMPLN 超長工作距離平場消色差透鏡
LCPLFLN-LCD 液晶長工作距離平場半復消色差透鏡

MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡軟件方案
使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像

幫助實現(xiàn)多種觀察方法的附件
近紅外線觀察單元

由可見光線領域到近紅外線領域的像差校正物鏡發力,和紅外線用超廣角三目鏡筒等優勢領先,備有各種對應近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力共創美好。


近紅外線觀察單元

近紅外線觀察

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察推動並實現。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置,可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。


熒光鏡單元

熒光觀察

透射照明單元


透射照明單元
對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元優化程度。偏振光片的搭載形勢,實現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA(數(shù)值孔徑)的B型號兩種型號取得明顯成效。
 MX51工業(yè)檢測半導體顯微鏡規(guī)格
光學系統(tǒng) UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正)
機身 觀察方法 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
反射/透射 反射/透射
照明裝置 明暗視場反射照明管(明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光)
通用反射照明管(明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光)
照明系統(tǒng) 反射照明 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明 纖維光導
對焦單元 電動/手動 手動
行程 32 mm
分辨率/微調靈敏度 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm
zui大樣本高度 30 mm
物鏡轉換器 電動型 明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
明暗視場微分干涉6孔
手動式 明視場5孔
明視場微分干涉6孔
明視場微分干涉中心輸出6孔
明視場微分干涉7孔
明暗視場5孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔
明暗視場微分干涉6孔
載物臺 行程 6×6英寸右下手柄: 
158(X)×158(Y)mm〖s定管轄。ㄍ干湔彰鞣秶?00×100 mm)
4×4英寸右下(左下)手柄: 
100(X)×105(Y)mm (透射照明范圍96×96 mm)
觀察筒 廣角視場(視場數(shù)22) 倒置 雙目/三目觀察筒
正像 三目觀察筒
超寬視場(視場數(shù)26.5) 倒置 三目觀察筒
正像 傾斜三目觀察筒
附件單元 IR單元/自動裝載
外形尺寸 430(W)×591(D)×495(H)mm(標準組合)
重量 26 kg(標準組合)


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