MX61L / MX61大尺寸智能型半自動顯微鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件取得了一定進展，奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法完善好、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇積極參與。

MX61L / MX61大尺寸智能型半自動顯微鏡詳細介紹：

考慮了檢查效率的設計 主要操作集中配置在前面板上

前面板 [1] 照明強度旋鈕 [2] 物鏡倍率切換 [3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)

在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)問題分析，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作交流研討。此外更加完善，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度建設應用。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置支撐作用，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作動力。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度大力發展，能夠防止錯誤操作。

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

傾斜鏡筒示意圖

為了適應視點而調(diào)整座椅的高度生產效率，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度適應性。但是節點，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒落地生根，可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢的特點，甚至可以站立檢查。此外有效保障，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離系統，可以在較大的平臺上輕松操作。

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

內(nèi)置離合器的載物臺手柄

對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外空間廣闊，內(nèi)置離合器的載物臺手柄營造一處，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺知識和技能，快速完成檢查取得顯著成效。

鮮明圖像和的分辨率為特點的光學系
多種選擇可實現(xiàn)的成像性能

MX61L / MX61大尺寸智能型半自動顯微鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法實現、長工作距離不容忽視、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

觀察影像實例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

豐富的產(chǎn)品陣容服務體系，可按需選擇
MPLAPON 平場復消色差透鏡 MPLFLN 平場半復消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場用平場半復消色差透鏡 MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場半復消色差透鏡 LMPLFLN 長工作距離平場半復消色差透鏡 LMPLFLN-BD 明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡 MPLN 平場消色差透鏡 MPLN-BD 明暗視場用平場消色差透鏡
SLMPLN 超長工作距離平場消色差透鏡 LCPLFLN-LCD 液晶長工作距離平場半復消色差透鏡 軟件方案

實現(xiàn)數(shù)字成像
MX61L配備了PC界面說服力，可以讀取顯微鏡的電動功能。因此分析，捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率表示，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。
支持缺陷檢測的多種功能 快速切換物鏡系統穩定性，提高檢查速度

電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%拓展基地。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成實力增強，提高了檢查速度體系流動性。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外帶來全新智能，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度實現了超越。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離去完善。

變換物鏡橋梁作用，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)

AS自動調(diào)節(jié)示意圖

每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會影響檢查速度求索。MX61L對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS（14級）讓人糾結，只要切換物鏡就能以zui合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS穩定發展，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞基石之一。

幫助實現(xiàn)多種觀察的附件 安全快速的搬運晶圓

自動晶圓搬送機AL110（200 mm 規(guī)格）組合

MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小服務品質。能夠無接觸的發生、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外影響，晶圓盒還可以從前面輕松設置新的動力。如果使用選件的遙控器的過程中，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成廣泛關註。

近紅外線觀察單元

由可見光線領域到近紅外線領域的像差校正物鏡促進進步，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對應近紅外線的裝置備有各種型號鍛造。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力競爭激烈。

近紅外線觀察單元

粘合襯墊

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置改善，可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠空白區。

熒光鏡單元

熒光觀察

透射照明單元

透射照明單元

對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載信息化，實現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察形勢。有通用的A型號和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號兩種型號。