DSR300-DUV深紫外分光光度檢測系統(tǒng)
DSR300-DUV深紫外分光光度檢測系統(tǒng)產(chǎn)品概述
紫外探測器介紹
紫外探測器分為可見盲探測器（280nm-400nm）和日盲探測器（小于280nm）結構不合理。日盲波段的紫外探測器因為沒有背景噪聲的干擾，所以具有較高的靈敏度逐步顯現，其在臭氧空洞檢測銘記囑托、火災監(jiān)測、紫外通信和導*監(jiān)測等軍事和民用方面有著重要的應用價值自動化裝置。
寬禁帶半導體Ga2O3是應用于高性能DUV光電探測器的一種*具前景的材料示範。
除了在Ga2O3材料上不斷提高其質(zhì)量及性能等，引入不同的工藝或者結(jié)構(gòu)工程也可以有效提高Ga2O3器件的光電探測性能有很大提升空間。
紫外探測器類型
半導體探測器運行好，基于半導體材料的紫外光電探測器有很多優(yōu)異的特性，如集成性好可能性更大、量子效率高部署安排、體積小以及穩(wěn)定性高等優(yōu)點。半導體紫外光電探測器可分為光電導型和光伏型器件兩種類型技術，具體介紹如下：
（1）光電導型探測器光電導型探測器主要是由半導體材料以及兩個電極組成推廣開來。因為沒有內(nèi)建電場，所以也被稱為無結(jié)型器件相對較高。當材料被具有足夠高能量的入射光照射后資源配置，這時處于半導體價帶上的電子會躍遷至導帶，同時在價帶中留下對應的空穴大幅增加，最終產(chǎn)生無數(shù)個這樣的電子-空穴對特性。隨后在外在加電場的作用下傳承，光生電子-空穴對會被兩側(cè)電極收集最后形成電信號。光電導型探測器依賴于外加電場建言直達，外加偏壓越高則響應越高多種。該類型器件的優(yōu)點是增益高、響應度高充分發揮、動態(tài)范圍寬發展成就、結(jié)構(gòu)簡單、制作成本相對較低等同時，在許多領(lǐng)域具有廣泛的應用互動式宣講。缺點是需要外加偏壓才能工作、響應時間也相對較長模式。
（2）光伏型探測器光伏型探測器主要組成部分是半導體材料形成的 p-n 結(jié)或者肖特基結(jié)等自動化，因其具有內(nèi)建電場可以將半導體材料內(nèi)產(chǎn)生的光生電子-空穴對分離，所以不必額外施加電壓就可以將入射光信號轉(zhuǎn)換為電信號高品質。常見的器件類型有 p-n 結(jié)型不折不扣、肖特基結(jié)型和金屬-半導體-金屬（MSM）型等。
1.p-n 結(jié)型
當p型與n型半導體材料相結(jié)合時資源優勢，在其接觸界面處就會存在載流子濃度梯度高效利用，兩種材料中的電子和空穴會在半導體間擴散。
這時在兩種材料的界面處會形成空間電荷區(qū)估算，并產(chǎn)生內(nèi)建電場講理論，因此該類型的器件可以在零偏壓模式下工作。由于p-n結(jié)存在勢壘不要畏懼，所以一般會施加反向偏壓令耗盡區(qū)的場強更大使其暗電流更低服務為一體，從而實現(xiàn)更好的探測能力，p-n結(jié)型探測器是目前應用*廣泛的種光伏型探測器
紫外探測器產(chǎn)業(yè)趨勢發(fā)展
近年來逐漸顯現，寬禁帶半導體材料已經(jīng)成為日盲紫外光電探測領(lǐng)域的研究熱點全會精神。目前，已經(jīng)有各種各樣的寬禁帶半導體材料被用于制作日盲光電探測器拓展基地，如鋁鎵氮(ALxGa,-xN)氧鋅鎂(ZnxMg,-xO)集中展示、氧化鎵(Ga,0,)和金剛石(Diamond)等。氧化鎵作為繼GaN和SiC之后的超寬禁帶半導體材料分享，能夠滿足高效共享、低能耗、高頻和高溫等高性能應用的需求方式之一，在高壓電力控制全面闡釋、射頻通信、日盲探測、惡劣環(huán)境信號處理等方面有著廣闊的應用前景引人註目。
光電探測器測試介紹
光電探測器是將入射光信號轉(zhuǎn)化為電信號的光電器件，因此快速溝通機製、高效的光電轉(zhuǎn)化是衡量探測器性能的重要因素好宣講。在光電探測器的性能參數(shù)中，涉及多個技術(shù)指標領先水平，這些指標對于理解和評估探測器的實際應用至關(guān)重要。這些參數(shù)包括但是不限于有效面積(A)，偏置電壓/擊穿電壓戰略布局，響應度事關全面，外量子效率，光譜范圍狀態，光/暗電流技術節能，響應速度/時間/-3dB，NEP廣泛認同，D*國際要求，噪聲，線性動態(tài)范圍(LDR)鍛造，光譜抑制比Spectral Rejection Ratio(SRR)等競爭激烈。
本系統(tǒng)，通過193的脈沖激光器或者等離子體光源+單色儀的連續(xù)193光源改善，對器件的光電流響應進行測量空白區，測量速度約4KHZ，同時通過標準探測器對激光強度波動進行測量信息化，對結(jié)果進行校正形勢。
需要在聚焦和非聚集的兩種情況下測量：聚焦時，光斑聚焦到0.5mm以下充分發揮，Mapping小范圍測量探測器的不均勻性選擇適用；不聚焦時，通過光闌控制高斯光束的束寬推動並實現，測量器件不同區(qū)域的響應度薄弱點。
激光脈寬7ns,重頻1KHz，單脈沖能量小于10nJ優化程度，光強需要能夠進行線性調(diào)節(jié)積極性，像面能量密度調(diào)節(jié)步長0.025mJ/cm，另外不斷豐富，采樣時間內(nèi)待測樣品上的能量累積小于3.6mJ實施體系。脈沖能量波動10%及以下，波長波動0.5nm及以下各有優勢，波長紫外的193nm效果較好。
若激光器支持外觸發(fā)重要的意義，可加快門，軟件需要增加相應的控制功能等多個領域。例：點擊開始采樣再獲，快門控制激光器出光，采樣結(jié)束后自動關(guān)斷應用擴展。
光學部分設(shè)計概述
定制樣品夾具體驗區，帶手動傾斜校正，可在顯微鏡下活動上，通過對焦的清晰度有望，對樣品盤進行手動傾斜校正，讓樣品在整個掃描范圍內(nèi)導向作用，處于同一對焦面內(nèi)方案，保證采用聚焦光斑測試時的穩(wěn)定性。
配備兼容2寸的大范圍高精度自動掃描臺堅持好，手動放片后即將展開，掃描臺托載晶片實現(xiàn)晶片上多點的自動掃描Mapping功能，步長精度<1μm特性，X方向運動范圍50mm傳承，Y方向運動范圍50mm，Z方向運動范圍20mm建言直達。
顯微鏡可在顯微成像和光電流兩種模式下切換多種，顯微模式下組建，物鏡轉(zhuǎn)輪切換到紫外消色差透鏡組新模式，可通過微區(qū)顯微鏡相機觀察微區(qū)圖像和激光光斑拓展應用，用戶可以通過顯微像確認樣品圖案是否對準穩定、激光光斑聚焦情況、樣品是否傾斜等空間廣闊。
顯微鏡模組內(nèi)通過激光采樣鏡和標準探測器實事求是，對激光能量波動進行檢測工具，用于補償光電流測試的結(jié)果無障礙。
可通過物鏡切換轉(zhuǎn)輪連日來，在聚焦和非聚集的兩種情況下測量：聚焦時，光斑通過紫外消色差透鏡組聚焦到0.5mm以下認為，Mapping小范圍系統，測量探測器的不均勻性；不聚焦時重要意義，物鏡轉(zhuǎn)輪切換到通孔交流等，直接用高斯光束照射樣品，通過光闌控制高斯光束的束寬，根據(jù)輸入的版圖位置測量器件不同區(qū)域的響應度提高。
激光包括193可以使用、266和355激光器，激光通過激發(fā)和收集模組紮實、耦合光路模組傳輸?shù)轿镧R前端并聚焦應用領域，激光通過切換鏡進行切換。通過衰減片對能量進行衰減進行培訓，通過光闌控制光束的束直徑。
氙燈和單色儀通過光纖接口接入耦合光路模組長效機製，經(jīng)過深紫外透鏡組準直后法治力量，到達物鏡后，聚焦到樣品表面分享，光斑直徑約200微米共享。
電學部分設(shè)計概述
穩(wěn)態(tài)光源測試模式：
穩(wěn)態(tài)光源（等離子體光源+單色儀）照射下，標準探測器和待測樣品直接接偏壓方式之一，通過雙通道源表同時獲取光電流隨時間的變化生動。
脈沖光源測試模式:
脈沖電學測試:脈沖激光照射下,標準探測器和待測樣品接跨導放大器,將光電流轉(zhuǎn)化為電壓,通過多通道示波器同時獲取標探和待測樣品的電壓隨時間的變化。此時偏壓固定,由放大器提供偏壓創新能力。
系統(tǒng)規(guī)格
革命性的插槽式并聯(lián)光路設(shè)計
優(yōu)勢:
強大的光路穩(wěn)定性：取消了傳統(tǒng)意義上的顯微鏡周邊冗余新品技，更加貼合光路穩(wěn)定性要求比較高的未來應用場景
無限拓展的可能性：顯微鏡光路，熒光求得平衡，RAMAN深入交流，振鏡掃描光電流光路，不同波長的熒光與RAMAN測試加強宣傳，依次并聯(lián)臺上與臺下，無限拓展
定量測試的高準確度：激光功率校準集成在顯微鏡模組中，通過測量激光采樣鏡獲取的少量激光光強技術發展，可作為激光功率的實時校準和參考集聚效應，并通過集成在熒光和拉曼模組中的連續(xù)衰減片調(diào)節(jié)光強。
更多的功能實現(xiàn)：熒光光強對于激發(fā)功率密度非常敏感重要手段，要準確的比較不同樣品的熒光光強互動講，需要應用翹曲度模組通過自動對焦，固定激發(fā)光斑的大小研究與應用，同時通過激光功率校準來固定激發(fā)光強飛躍，最終保證了顯微共聚焦熒光光強的穩(wěn)定性和可比較性。
智能化軟件平臺和模塊化設(shè)計
· 統(tǒng)一的軟件平臺和模塊化設(shè)計
· 良好的適配不同的硬件設(shè)備：平移臺全面協議、顯微成像裝置重要部署、光譜采集設(shè)備、自動聚焦裝置等
· 成熟的功能化模塊：晶圓定位、光譜采集智慧與合力、掃描成像Mapping喜愛、3D層析，Raman Mapping開放要求，F(xiàn)LIM向好態勢，PL Mapping，光電流Mapping等服務機製。
· 智能化的數(shù)據(jù)處理模組：與數(shù)據(jù)擬合貢獻力量、機器學習、人工智能等結(jié)合的在線或離線數(shù)據(jù)處理模組大幅拓展，將光譜解析為成分發行速度、元素的分布等，為客戶提供直觀的結(jié)果與時俱進⌒阅?？筛鶕?jù)客戶需求定制光譜數(shù)據(jù)解析的流程和模組
· 可根據(jù)客戶需求進行定制化的界面設(shè)計和定制化的RECIPE流程設(shè)計，實現(xiàn)復雜的采集和數(shù)據(jù)處理功能綜合運用。
顯微光譜成像控制軟件界面
