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MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

該廠商其他產(chǎn)品

我也要出現(xiàn)在這里

MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)(UIS2),特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)長足發展、暗視場(chǎng)的性能,從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力結構不合理。明視場(chǎng)圖像的色溫*化,實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)提升,暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍(與本公司原有產(chǎn)品比較)的必然要求。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡詳細(xì)介紹:

始終提供*觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
強(qiáng)大的缺陷檢查能力

采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)(UIS2),特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)大面積、暗視場(chǎng)的性能,從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力問題分析。明視場(chǎng)圖像的色溫*化培養,實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)更加完善,暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍(與本公司原有產(chǎn)品比較)。
觀察影像實(shí)例


明視場(chǎng)觀察

新暗視場(chǎng)觀察

傳統(tǒng)的暗視場(chǎng)觀察

自動(dòng)調(diào)節(jié)*亮度


亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖
物鏡選擇和觀察方法切換連動(dòng),自動(dòng)地調(diào)節(jié)亮度光圈大力發展。提高了觀察速度并減輕疲勞生產效率。

對(duì)應(yīng)各種設(shè)備的實(shí)時(shí)AF


深紫外線觀察用物鏡
MX61A裝載了在對(duì)焦精度、對(duì)焦速度上性能*的動(dòng)態(tài)AF通過活化。新開(kāi)發(fā)的多點(diǎn)方式的傳感器的采用,大幅度的提高了對(duì)焦時(shí)的穩(wěn)定性開展面對面。在可視非常重要、深紫外線的反射光觀察中,實(shí)現(xiàn)了追蹤觀察位置的實(shí)時(shí)對(duì)焦改革創新。

對(duì)應(yīng)多種觀察方法


物鏡UIS2系列產(chǎn)品
在深紫外線到可視取得顯著成效、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品,與各種觀察單元組合不容忽視,可以在一臺(tái)顯微鏡上進(jìn)行明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)服務為一體、微分干涉逐漸顯現、熒光、近紅外線拓展基地、深紫外線等觀察集中展示。
觀察方法的切換非常簡(jiǎn)單體系流動性,只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)新產品、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以橋梁作用。

觀察影像實(shí)例


明視場(chǎng)觀察

暗視場(chǎng)觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

近紅外線觀察(左)和可見(jiàn)
光線觀察(右)的比較
 

提供擴(kuò)展性的解決方案 提供擴(kuò)展性的解決方案


適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine(分
析引擎)模塊
 
MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡"顯微鏡控制軟件"作為核心對(duì)MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個(gè)應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡讓人糾結,還能控制數(shù)碼照相機(jī)規模、電動(dòng)載物臺(tái)等外圍設(shè)備至關重要。一直以來(lái)提供深度撮合服務,必需進(jìn)行若干個(gè)操作才能實(shí)現(xiàn)的高級(jí)觀察方法組成部分、深紫外線觀察等的切換影響,只要一次點(diǎn)擊就能順利完成。該軟件進(jìn)一步拓展了MX61A的擴(kuò)張性指導,滿足了不斷變化的分析需求。

顯微鏡控制軟件 MX2-BSW


顯微鏡控制軟件顯示畫(huà)面
顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進(jìn)行各種顯微鏡控制和AF,還能綜合控制深紫外線觀察單元和電動(dòng)載物臺(tái)*1等競爭激烈。對(duì)于數(shù)碼照相機(jī)*2空白區,能夠控制它的觀察和記錄。觀看實(shí)況影像時(shí)單擊需觀察的地方實踐者,快速移動(dòng)到視場(chǎng)中心約定管轄、實(shí)況計(jì)量和檢測(cè)發揮、影像記錄等一系列作業(yè)就能容易的得以實(shí)現(xiàn)。
*1對(duì)應(yīng)本公司*的電動(dòng)載物臺(tái)
*2對(duì)應(yīng)奧林巴斯DP21或本公司*的IEEE1394數(shù)碼照相機(jī)
 

實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒(méi)有危害的自動(dòng)化
符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)

符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有關(guān)安全的基準(zhǔn))占,S8-0705(有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn))和CE標(biāo)識(shí)(歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證)等的標(biāo)準(zhǔn)提供了有力支撐。符合人體工程學(xué)和安全對(duì)策等,高水準(zhǔn)的確保了可靠性增幅最大。
可選的傾斜觀察筒


傾斜觀察筒示意圖
備有2種能以舒適姿勢(shì)觀察的傾斜鏡筒等多個領域脭U展?梢愿鶕?jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號(hào)有望,或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀察的U-SWETTR-5型號(hào)方案。

潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器


潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器十大行動。
6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器,采用了新型馬達(dá)綜合措施,實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換設計標準。

高抗振本體


高倍率觀察圖像示意圖
采用了不易受振動(dòng)影響的高度剛性儀器機(jī)架。即便是高倍率觀察發揮重要帶動作用,也不會(huì)出現(xiàn)影像模糊的情況。

可以觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)


手控開(kāi)關(guān)操作部
配備了觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)形式,可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作非常重要。只要選擇觀察方法,就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像營造一處。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換新模式、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)規劃、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行紮實。

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件 晶圓搬送機(jī)組合


晶圓搬送機(jī)
可以對(duì)應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓新體系。新型搬送手臂的采用創造,實(shí)現(xiàn)了對(duì)90 μm極薄晶圓的搬送設備製造,能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求攻堅克難。

自動(dòng)載物臺(tái)組合


自動(dòng)載物臺(tái)
備有對(duì)應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動(dòng)載物臺(tái)雙向互動。通過(guò)PC控制,可以實(shí)現(xiàn)高級(jí)檢查範圍、不良分析功能紮實做。
 MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡 規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng) UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正)
機(jī)身 觀察方法 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光
反射/透射 反射
照明裝置 機(jī)身一體型(明視場(chǎng)空間廣闊、暗視場(chǎng)+1選件)
照明系統(tǒng) 反射照明 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明 -
對(duì)焦單元 電動(dòng)/手動(dòng) 電動(dòng)
行程 25.4 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度 分辨率0.01 μm
zui大樣本高度 24 mm
物鏡轉(zhuǎn)換器 電動(dòng)型 明視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔
明暗視場(chǎng)微分干涉中心補(bǔ)正5孔
手動(dòng)式 -
載物臺(tái) 行程 14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm 
8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm
觀察筒 廣角視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)22) 倒置 -
正像 -
超寬視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)26.5) 倒置 -
正像 傾斜三目觀察筒
附件單元 自動(dòng)調(diào)焦/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載
外形尺寸 711(W)×853(D)×552(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合)
重量 56 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合)


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