SeyaNamioka結(jié)構(gòu)真空紫外光譜儀SeyaNamioka結(jié)構(gòu)采用一片凹面光柵完成衍射與成像高質量，包含角約70°

Seya Namioka 結(jié)構(gòu)真空紫外光譜儀

Seya Namioka 結(jié)構(gòu)采用一片凹面光柵完成衍射與成像，包含角約70°記得牢。單反射面具備較低反射損失智能設備，最短適用波長(zhǎng)可達(dá)30nm。儀器可配置入射蓬勃發展、出射狹縫構(gòu)成單色儀特點，采用全息校正光柵或非球面光柵進(jìn)行像場(chǎng)校正時(shí)可搭配CCD等平面探測(cè)器使用。

圖1 234/302 光譜儀的多種配置

234/302型200mm焦距S-N結(jié)構(gòu)光譜儀是McPherson的真空紫外光譜儀重要性，目前更新為型號(hào)Monarch又進了一步。光譜儀具備200mm焦距、F/4.5相對(duì)口徑多元化服務體系，最短適用波長(zhǎng)可達(dá)30nm規劃、分辨率0.1nm。234/302 配備IV類像差校正的光柵深度，可作為掃描單色儀使用帶動擴大，也可配接CCD相機(jī)等多通道探測(cè)器作為光譜儀使用；支持雙光柵塔輪開拓創新、雙入口或雙出口切換持續發展、雙級(jí)聯(lián)單色儀等擴(kuò)展必然趨勢。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)支持1E-6 Torr 高真空，另可選擇不銹鋼腔體的超高真空型號(hào)擴大。

產(chǎn)品特點(diǎn)

l IV類像差校正多樣性，可搭配CCD或MCP

l 200mm焦距，F(xiàn)/4.5大口徑

l 靈活配置及選項(xiàng)：雙光柵塔輪新格局，多出（入）口明顯，超高真空

主要參數(shù)

光柵選型表

光譜示例

圖2 采用不同光柵獲取的He-Ne混合空芯陰極燈光譜

典型應(yīng)用

l 真空紫外發(fā)光與激光

l 真空紫外可調(diào)單色光源

l 等離子體光譜診斷

l 紫外光電子能譜

更多型號(hào)產(chǎn)品

面向更高分辨率的需求，McPherson可提供500mm集聚、1000mm長(zhǎng)焦距的S-N結(jié)構(gòu)光柵光譜儀競爭力，分辨率分別達(dá)到0.025、0.05nm發展基礎。

圖3 Model 235（左，500mm焦距）建強保護、Model 231（右同期，1m焦距）S-N結(jié)構(gòu)VUV光譜儀