SPA-6100型半導體電學特性測試系統(tǒng)IV+CV測試儀可以幫助用戶根據測試需要共同努力，靈活選配測量單元進行升級行業內卷。產品支持Z高1200V電壓、100A大電流很重要、1pA小電流分辨率的測量能力和水平，同時檢測10kHz至1MHz范圍內的多頻AC電容測量。

半導體電學特性測試系統(tǒng)IV+CV測試儀概述：

SPA-6100半導體參數(shù)分析儀是武漢普賽斯自主研發(fā)異常狀況、精益打造的一款半導體電學特性測試系統(tǒng)研究，具有高精度、寬測量范圍應用創新、快速靈活提高、兼容性強等優(yōu)勢。產品可以同時支持DC電流-電壓(I-V)的特性、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試交流，旨在幫助加快前沿材料研究、半導體芯片器件設計以及*工藝的開發(fā)提供堅實支撐，具有桌越的測量效率與可靠性還不大。

基于模塊化的體系結構設計，SPA-6100半導體參數(shù)分析儀可以幫助用戶根據測試需要信息化技術，靈活選配測量單元進行升級發揮作用。產品支持Z高1200V電壓、100A大電流創新的技術、1pA小電流分辨率的測量發揮，同時檢測10kHz至1MHz范圍內的多頻AC電容測量。SPA-6100半導體參數(shù)分析儀搭載普賽斯自主開發(fā)的專用半導體參數(shù)測試軟件,支持交互式手動操作或結合探針臺的自動操作,能夠從測量設置快速增長、執(zhí)行開放以來、結果分析到數(shù)據管理的整個過程，實現(xiàn)高效和可重復的器件表征;也可與高低溫箱高質量、溫控模塊等搭配使用提供了有力支撐，滿足高低溫測試需求激發創作，詳情上普賽斯儀表官&網了解詳情

產品特點：

30μV-1200V；1pA-100A寬量程測試能力進一步意見；

測量精度高提升，全量程下可達0.03%精度；

內置標準器件測試程序的必然要求，直接調用測試簡便研究成果；

自動實時參數(shù)提取，數(shù)據繪圖完善好、分析函數(shù)大面積；

在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線；
提供靈活的夾具定制方案問題分析，兼容性強培養；

免費提供上位機軟件及SCPI指令集；

典型應用：

納米更加完善、柔性等材料特性分析形式；

二極管；

MOSFET支撐作用、BJT日漸深入、晶體管、IGBT同時；

第三代半導體材料/器件互動式宣講；

有機OFET器件；

LED模式、OLED自動化、光電器件；

半導體電阻式等傳感器發揮重要帶動作用；

EEL意向、VCSEL、PD文化價值、APD等激光二極管形式；

電阻率系數(shù)和霍爾效應測量；

太陽能電池非常重要；

非易失性存儲設備進一步提升；

失效分析空間廣闊；

系統(tǒng)技術規(guī)格

半導體電學特性測試系統(tǒng)IV+CV測試儀訂貨信息

模塊化構成：

低壓直流I-V源測量單元

-精度0.1%或0.03%可選
-直流工作模式
-Z大電壓300V營造一處，Z大直流1A或3A可選
-最小電流分辨率10pA
-四象限工作區(qū)間
-支持二線，四線制測試模式
-支持GUARD保護

低壓脈沖I-V源測量單元

-精度0.1%或0.03%可選
-直流知識和技能、脈沖工作模式
-Z大電壓300V,Z大直流1A或3A可選取得顯著成效，Z大脈沖電流10A或30A可選
-最小電流分辨率1pA
-最小脈寬200μs
-四象限工作區(qū)間.
-支持二線新模式，四線制測試模式
-支持GUARD保護

高壓I-V源測量單元
-精度0.1%    
-Z大電壓1200V,Z大直流100mA

-最小電流分辨率100pA
-一、三象限工作區(qū)間
-支持二線不容忽視、四線制測試模式
-支持GUARD保護

高流I-V源測量單元

-精度0.1%
-直流組織了、脈沖工作模式.
-Z大電壓100V，Z大直流30A,Z大脈沖電流100A
-最小電流分辨率10pA

-最小脈寬80μs
-四象限工作區(qū)間
支持二線說服力、四線制測試模式
-支持GUARD保護

電壓電容C-V測量單元

-基本精度0.5%
-測試頻率10hZ~1MHz搶抓機遇，可選配至10MHz
-支持高壓DC偏置，Z大偏置電壓1200V
-多功能AC性能測試表示，C-V全面闡釋、 C-f、 C-t

硬件指標-IV測試

半導體材料以及器件的參數(shù)表征競爭力所在，往往包括電特性參數(shù)測試引人註目。絕大多數(shù)半導體材料以及器件的參數(shù)測試，都包括電流-電壓(I-V)測量溝通機製。源測量單元(SMU)好宣講，具有四象限，多量程領先水平，支持
四線測量等功能，可用于輸出與檢測高精度、微弱電信號戰略布局，是半導體|-V特性測試的重要工具之-長遠所需。SPA-6100配置有多種不同規(guī)格的SMU,如低壓直流SMU,低壓脈沖SMU,大電流SMU。用戶可根據測試需求靈活配置不同規(guī)格,以及不同數(shù)量的搭配求得平衡，實現(xiàn)測試測試效率與開支的平衡紮實做。

靈活可定制化的夾具方案

針對市面上不同封裝類型的半導體器件產品,普賽斯提供整套夾具解決方案。夾具具有低阻抗至關重要、安裝簡單提供深度撮合服務、種類豐富等特點，可
用于二極管的發生、三極管組成部分、場效應晶體管、IGBT新的動力、SiC  MOS的過程中、GaN等單管，模組類產品的測試;也可與探針臺連接廣泛關註，實現(xiàn)晶圓級芯片
測試促進進步。

探針臺連接示意圖