NS3500L 大面積高速3D激光掃描儀
NS-3500L 是一種準(zhǔn)確、可靠的大面積高速3D激光掃描儀有所提升。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像聽得進。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片先進水平,F(xiàn)PD產(chǎn)品便利性,MEMS設(shè)備全面展示,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案深刻認識。
Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):
高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測(cè)
實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像 無(wú)樣品準(zhǔn)備
Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):
NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案核心技術。
可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度深入,角度效高,面積和體積,例如
-半導(dǎo)體:IC圖形基礎,凹凸高度性能,線圈高度,缺陷檢測(cè)對外開放,CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè)技術創新,ITO圖案,LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓資料,表面粗糙度設施,MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池,太陽(yáng)能電池紋理堅定不移,激光圖案
-材料研究:模具表面檢測(cè),粗糙度更讓我明白了,裂紋分析

Specification(規(guī)格):
Model | Microscope NS-3500 | 備注 |
| Controller NS-3500E |
物鏡倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | 150x |
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觀察/ 測(cè)量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 |
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垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 |
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工作范圍: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 0.2 |
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數(shù)值孔徑(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | 0.95 |
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光學(xué)變焦 | x1 to x6 |
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總放大倍率 | 178x to 26700x |
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觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng) | 針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) |
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高度測(cè)量 | 測(cè)量掃描范圍 | 精細(xì)掃描 : 400 μm (and/or) 長(zhǎng)掃描 : 10 mm [NS-3500-S] |
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長(zhǎng)掃描 : 10mm [NS-3500-T] |
顯示分辨率 | 0.001 μm |
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重復(fù)率 σ | 0.010 μm | 注 1 |
寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.001 μm |
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重復(fù)率 3σ | 0.02 μm | 注 2 |
幀記憶 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
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單色圖像 | 12 bit |
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彩色圖像 | 8-bit for RGB each |
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高度測(cè)量 | 16 bit |
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幀速率 | 表面掃描 | 20 Hz to 160 Hz |
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線掃描 | ~8 kHz |
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自動(dòng)功能 | 自動(dòng)增益 |
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激光共焦測(cè)量光源 | 波長(zhǎng) | 405nm |
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輸出 | ~2mW |
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激光等級(jí) | Class 3b |
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激光接收元件 | PMT (光電倍增管) |
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光學(xué)觀察光源 | 燈 | 10W LED |
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光學(xué)觀察照相機(jī) | 成像元件 | 1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器 |
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記錄分辨率 | 640x480 |
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自動(dòng)調(diào)整 | 增益, 快門(mén)速度, White balance |
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數(shù)據(jù)處理單元 | PC |
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電源 | 電源電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
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電流消耗 | 500 VA max. |
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重量 | 顯微鏡 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) |
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控制器 | ~8 kg |
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注 1 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長(zhǎng)1μm)進(jìn)行100次測(cè)量
注 2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(5μm間距)進(jìn)行100次測(cè)量迎難而上。