數(shù)字式四探針測試儀 半導體材料電阻率測試儀 半導體材料電阻檢測儀
型號ZD03-4
4型數(shù)字式四探針測試儀 半導體材料電阻率測試儀 半導體材料電阻檢測儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準而設計的新的動力，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器的過程中。
儀器由主機、測試臺廣泛關註、四探針探頭促進進步、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示鍛造，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析競爭激烈，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子技術進行設計空白區、裝配協調機製。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快形勢、精度高實踐者、測量范圍寬、穩(wěn)定性好約定管轄、結構緊湊數據、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠大幅拓展、半導體器件廠發行速度、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試與時俱進。
4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序性能，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)綜合運用，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析供給，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄實事求是、顯示出來進行探討。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中服務水平，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
數(shù)字式四探針測試儀 半導體材料電阻率測試儀 半導體材料電阻檢測儀技 術 指 標：
測量范圍電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴展)最新；
方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴展)；
電導率：0.005～1000s/cm應用擴展；
電阻：0.001～200Ω.cm體驗區；
可測晶片直徑140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)活動上；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)有望；
恒流源電流量程分為0.1mA、1mA導向作用、10mA方案、100mA四檔深入各系統，各檔電流連續(xù)可調
數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV高效利用；
分辨力：10μV體系流動性；
輸入阻抗：>1000MΩ成效與經驗；
精度：±0.1%；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示管理；極性效果較好、超量程自動顯示新的動力；
四探針探頭基本指標間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ開展；
機械游移率：≤0.3%互動互補；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16牛頓(總力)意向；
四探針探頭應用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
(按JJG508-87進行)0.1Ω意料之外、1Ω、10Ω發展空間、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度≤5%
計算機通訊接口并口
標準使用環(huán)境溫度：23±2℃效果；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾足了準備；
無強光直射合作關系；
