国产一级一级理论片一区二区_久久综合图区亚洲综合图区_国产精品V欧美精品av日韩_日韩精品成人在线_亚洲欧美日韩动漫_国产精品一二三区在线观看公司_日韩成人无码一区二区三区


免費注冊快速求購


分享
舉報 評價

OTF-1500X-III-4CV- 三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

該廠商其他產(chǎn)品

我也要出現(xiàn)在這里

OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)互動互補,它是由500W的射頻電源發揮重要帶動作用,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成意料之外。此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線重要方式、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實驗幫手。

詳細信息 在線詢價

  OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)系統,它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐進一步提升、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成空間廣闊。此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實驗幫手改革創新。

OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng)知識和技能,它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐新模式、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成實現。此款PECVD系統(tǒng)對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實驗幫手提高。


 技術(shù)參數(shù)

三溫區(qū)開啟式1500℃管式爐

  • zui高工作溫度1500
  • 連續(xù)使用溫度1400
  • 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制可以使用,都可設(shè)置30段升降溫程序
  • 每個溫區(qū)長度為200mm
  • 總溫區(qū)長度為600mm
  • 爐管為高純剛玉管
  • 爐管尺寸:(標配)60 O.D x 53 I.D x 1500mm L 
  • 爐管尺寸:(選配)80 O.D x 73 I.D x 1500mm L 
  • 輸入電源: 208 – 240V AC進入當下,單相
  • zui大功率:6.6KW
  • 配有一對不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層效高化,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率新體系,同時延長儀器的使用壽命。(點擊圖片查看詳細資料)
     

射頻電源

  • 輸出功率:          5 -500W    ± 1% . 
  • 射頻頻率:          13.56 MHz    ±0.005% .
  • 反射功率:          zui大 200W 
  • 匹配:                自動
  • 射頻接口:       50 Ω, N-type
  • 噪音:                    <50 dB. 
  • 冷卻:                  風冷
  • 電源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

防腐型真空計

  • 輸入電源   24V創造,1A  DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器)
  • 測量范圍   3.8x10-5 -1125 Torr.
  • 數(shù)據(jù)顯示   數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm)不難發現,其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
  • 接頭     1/8"NPT 接頭
  • 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系統(tǒng)

  • 采用TRP-12的雙旋真空泵極限真空10E-3 Torr 
  • KFD25 快接,不銹鋼波紋管設備製造,手動擋板閥與法蘭發展需要,真空泵相連.
  • 管內(nèi)真空可達10E-2 Torr 
  •  

質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)

  • 四個精密的質(zhì)量流量計(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動控制.
  • MFC 1范圍:  0~100 sccm 
  • MFC 2和3:    0~200 sccm  
  • MFC 4范圍:   0~500 sccm 
  • 一個混氣罐管理,底部裝有泄廢液口
  • 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)顯示,可手動控制4種氣體.
  • 進氣口: 41/4NPS. 
  • 出氣口: 4個 1/4NPS. 
  • 采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進行控制

溫控系統(tǒng)

  • 三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制
  • 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度新型儲能,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 帶有超溫和斷偶保護
  • 控溫精度:+/- 1 ºC
  • 控溫儀表操作視頻
  • 可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊創新能力,將溫度設(shè)置和溫度曲線導入到電腦

外型尺寸

  • 爐體:550 x 380 x 520  mm 
  • 爐體下端移動柜:1800×600×600mm
  • 凈重:220 Lbs. 
  • 運輸重量:1200lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護範圍,相關(guān)耗材除外如爐管求得平衡,密封圈等易耗件

質(zhì)量認證

  • CE認證
  • 所有電器元件(>24V)都通過UL / MET / CSA認證
  • 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
         


同類產(chǎn)品推薦


提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他技術創新,可自行輸入要求

個人信息:

姚安县| 大田县| 宁都县| 九台市| 神农架林区| 嘉黎县| 荥经县| 张家界市| 个旧市| 汶川县| 福州市| 沈丘县| 丹东市| 天峨县| 榆树市| 祁连县| 东丽区| 东阳市| 太康县| 广昌县| 台中县| 敦化市| 修武县| 忻州市| 双柏县| 北宁市| 镶黄旗| 甘孜县| 乐东| 芜湖市| 张掖市| 永年县| 沁源县| 天台县| 松原市| 甘肃省| 临沭县| 库尔勒市| 崇义县| 广东省| 胶州市|