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OTF-1200X-50-II-P 帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥科晶材料技術(shù)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) OTF-1200X-50-II-P
  • 所在地 合肥市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2017/1/5 10:17:41
  • 訪問(wèn)次數(shù) 396

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OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng)逐漸顯現,組成部分為500W的射頻發(fā)生器全會精神、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預(yù)熱爐(作用為使固體原料蒸發(fā))和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵拓展基地。此款PE-CVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD集中展示,方法來(lái)制作各種薄膜是一款新的探索工具。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

  OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng)體系流動性,組成部分為500W的射頻發(fā)生器探索創新、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預(yù)熱爐(作用為使固體原料蒸發(fā))和德國(guó)進(jìn)口的無(wú)油泵積極拓展新的領域。此款PE-CVD對(duì)于生長(zhǎng)納米線或用CVD配套設備,方法來(lái)制作各種薄膜是一款新的探索工具。

技術(shù)參數(shù)

特點(diǎn)
  • 與普通CVD相比較競爭力所在,其沉積溫度大大降低引人註目,減少了高溫多薄膜損壞
  • 可以通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果
  • 爐體有兩個(gè)溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度溝通機製,兩個(gè)溫區(qū)zui大溫差為400℃
  • 管式爐zui高工作溫度為1100℃
  • 帶有預(yù)熱爐好宣講,zui高溫度為1100℃,氣體可通過(guò)此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合領先水平。

雙溫區(qū)滑軌爐
 

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

  • 連續(xù)工作zui高溫度為1100℃
  • 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率戰略布局,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命(點(diǎn)擊文字查看詳細(xì)資料)
  • 兩個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū)事關全面,都可設(shè)置30段升降溫程序
  • 每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm
  • 總溫區(qū)長(zhǎng)度:400mm
  • 恒溫區(qū):200mm(兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差狀態,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)技術節能。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員 
  • 兩個(gè)溫區(qū)zui大溫差為:400
  • 爐管材料:高純石英管
  • 石英管尺寸:50mm OD x 44ID x 2200mm L
  • 所需電源: 208 – 240V AC單相
  • zui大功率: 4KW

等離子射頻發(fā)生器
 

  • 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
  • 穩(wěn)定性為:+/-1%
  • 射頻電源頻率:13.56 MH, 穩(wěn)定性±0.005% 
  • zui大反向功率: 200W 
  • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導(dǎo)體陰極
  • 噪音:<50 dB.
  • 冷卻方式:空氣冷卻
  • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  

預(yù)熱爐

 

  • 一款小型單溫區(qū)管式爐廣泛認同,加熱區(qū)為200mm
  • zui高溫度:  1100ºC
  • 可設(shè)置30段升降溫程序
  • 控溫儀表操作視頻
  • 氣體通過(guò)等離子射頻電源前國際要求,先通過(guò)預(yù)熱爐
  • 也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中,氣化后與氣體原料相混合

防腐型數(shù)顯真空計(jì)
 

  • 測(cè)量范圍3.8x10-5  1125 Torr
  • 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),可獨(dú)立測(cè)量各種氣體競爭激烈,不必做校正(包括混合氣體)
  • 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的精確度和重復(fù)性
  • 信號(hào)響應(yīng)時(shí)間較短(≤30ms)
  • 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇蟹栏繉映掷m創新,所以具有較好的抗腐蝕性

真空泵和閥

 

  • 可以從本公司選購(gòu)以下幾種真空泵
  • 如您想獲得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組
  • 配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件
  •           

電動(dòng)滑軌

  • 可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端空白區,將爐體滑動(dòng)協調機製,以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果
  • 滑動(dòng)速度:0-70 mm/s(可調(diào))

升溫和降溫速率

 

  • RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi),將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中(儀器中不包含充分發揮,客戶需額外出費(fèi)用在本公司購(gòu)買(mǎi))
  • 為了獲得zui大的升溫速率高質量,可將爐體升溫到設(shè)定溫度,然后將爐體滑到樣品盛放位置

加熱速率

15°C/sec (RT - 150°C);

10°C/sec (150°C - 250°C);

7°C/sec (250°C - 350°C);

4°C/sec (350°C - 500°C);

3°C/sec (350°C - 550°C);

2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

 

可選

可以選購(gòu)2-4通道質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)(精度1.5%

  

外形尺寸

  • 爐體: 550 x 380 x 520  mm 
  • 滑軌長(zhǎng)度:1750 mm 
凈重220 Lbs.

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期選擇適用,終生維護(hù)(不包括爐管管理、密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認(rèn)證

    CE Certified

使用注意事項(xiàng):
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)業務指導,氣瓶上必須安裝減壓閥改進措施,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)積極性,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)奮勇向前,爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM實施體系,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)組建,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱效果較好,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)重要的意義,若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥等多個領域,以防意外發(fā)生(如爐管破裂再獲,法蘭飛出等)


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