C-25X100型 4英寸/6英寸 光刻機 高精度對準

主要用途：

  本機針對各大專院校強大的功能、企業(yè)及科研單位實際需求。對光刻機使用特性研發(fā)的一種高精度的光刻機，三層減震優勢，組合式善謀新篇，拆卸方便。

  它主要用于中小規(guī)模集成電路便利性、半導體元器件方法、光電子器件、聲表面波器件提供有力支撐、薄膜電路切實把製度、電力電子器件的研制和生產(chǎn)，適合硅片逐步顯現、玻璃片銘記囑托、陶瓷片、銅片自動化裝置、不銹鋼片示範、寶石片的曝光應用前景，而且也適合易碎片如:砷化鉀、磷化銦的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光運行好。

主要性能指標：

1. 多種版夾盤

l C-25X100型4英寸有四種版夾盤,能真空吸附5" ×5"或4" ×4"或3" ×3"方形掩板首次。對版的厚度無特殊要求（1～4mm皆可）。

l C-25X100型6英寸有四種版夾盤,能真空吸附7" ×7"部署安排、6" ×6"方案、5" ×5"、4" ×4"方形掩板了解情況。對版的厚度無特殊要求（1～4mm皆可）。

2. 真空吸附基片的“承片臺”

l C-25X100型4英寸設有相對應的真空吸附基片的“承片臺”三個技術研究，分別適用于φ2重要的、φ3、φ4片姿勢。對于非標準片或碎片相互融合，只要堵塞相應的小孔，同樣能真空吸附綠色化。

l C-25X100型6英寸2.設有相對應的真空吸附基片的“承片臺”四個不同需求，分別適用于6" ×6"、5" ×5"保持穩定、4" ×4"總之、3" ×3"片。

3. 照明

l 光源：采用GCQ350Z型超高壓水銀直流汞燈支撐作用。

l 照明范圍：≤ф100mm

l 不均勻性：ф100mm內(nèi)±4%

l 可使用的波長：g線研學體驗、h線、I線的組合最為突出。根據(jù)用戶要求落實落細，可增加I線濾光片。

l 成象面照明：光照度0～10毫瓦/厘米2,任意可調(diào)(出廠時,照明度調(diào)在10mw/cm2)高效化。        
曝光分辨率:1μm

4. 采用進口時間繼電器（該繼電器可從0.1秒∽999.9秒預設）控制氣動快門製高點項目，動作準確可靠。

5. 該機為接觸式曝光機支撐能力，但可實現(xiàn)：

l 硬接觸曝光：用管道真空來獲得高真空接觸資源優勢。真空≤-0.05MPa。

l 軟接觸曝光：接觸壓力可將真空降到-0.02MPa ～ -0.05MPa之間大數據。

l 微力接觸曝光：小于軟接觸長效機製。真空≥-0.02MPa。

6. 分辯率估計

如果用戶的“版”數字技術、“片”精度符合國家規(guī)定奮戰不懈，環(huán)境、溫度、濕度大大縮短、塵埃得到嚴格控制要落實好，采用進口正性光刻膠，且勻膠厚度得到嚴格控制更默契了。加之前后工藝的話先進技術，硬接觸曝光的最小分辨度可達1μm以上

7. 對準

觀察系統(tǒng)為兩個單筒顯微鏡上裝二個CCD攝像頭，通過視屏線連接到顯視屏上不合理波動。

a.單筒顯微鏡為0.7X～4.5X連續(xù)變倍顯微鏡（也可為1.6X～10X）宣講手段。

b.CCD攝像機靶面對角線尺寸為：1/3，（6mm）;

c.采用19"液晶監(jiān)視器積極拓展新的領域，其數(shù)字放大倍率為19÷1/3=57倍配套設備；

d.觀察系統(tǒng)放大倍數(shù)為：0.7×57≈40倍（最小倍數(shù)），4.5×57≈256倍（倍數(shù)）或（91倍～570倍）相對開放。

對準臺：（采用片動推進高水平，版不動方式）

X、 Y調(diào)整：±5mm拓展應用。

θ調(diào)整：轉(zhuǎn)角≤5°

對準間隙（分離間隙）0～5mm任意可調(diào)生產創效。

對準精度：1μm

套刻精度: 1μm

整個對準臺相對于顯微鏡可作±20mm掃描運動。

“接觸管理、分離”20μm情況下優化上下，片相對于版的“漂移量”，可調(diào)到≤±0.5μm敢於挑戰。

8. 設備所需能源：

主機電源： 220V±10%   50HZ

潔凈空氣≥0.4MPα不斷創新。

真空：-0.07～－0.08MPα。

9. 尺寸和重量：

尺寸：機體720 mm（長）×720 mm（寬）×882mm（高）提供了遵循。

重量：≤100Kg規模。

機體放在專用工作臺上。

工作臺:1100 mm（長）×750 mm（寬）×645 mm（高）基石之一。

高度可調(diào)范圍0～30mm聯動。

重量50Kg（工作臺后側(cè)裝有電氣部分）。

總重量≤200Kg

10. C-25XA型光刻機的組成

l 主機

主機（含機體和工作臺）

對準用單筒顯微鏡

多點光源曝光頭

l 附件

主機附件：

3"□型掩版夾盤

4"□型掩版夾盤（出廠時安裝到機器上）

用于2"基片的真空夾持承片臺共同努力。

用于3"基片的真空夾持承片臺（出廠時安裝到機器上）

（若需特殊的基片承片臺行業內卷，訂貨時用戶提出）

顯微鏡組成

單筒顯微鏡二個

兩個CCD

視頻連接線。

計算機和22"液晶監(jiān)視器逐漸完善。