高低溫探針臺晶圓測溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體硅片測溫
探針臺是一個平臺不斷豐富，上面配有微小的探針。這些探針能夠與晶圓表面接觸組建，從而實時測量晶圓的溫度各有優勢。
作為晶圓測試中的關(guān)鍵設(shè)備，探針臺的運作原理在于通過其探針與被測器件上的 PAD 點精確對位重要的意義，以實現(xiàn)測試機輸出激勵信號的互通與信號反饋持續，最終獲取和采集測試數(shù)據(jù)。高低溫真空探針臺可以很好的滿足極低溫測試和高溫?zé)o氧化測設(shè)再獲。在整個測試過程中產品和服務，工程師們追求以最短的時間獲得可靠的測試數(shù)據(jù)。
典型的晶圓高低溫測試通常涵蓋溫度范圍從 -45°C 至 150°C體驗區，而在晶圓可靠性測試中增多，溫度可能高達 300°C發揮效力。然而，隨著探針臺進行溫度變化明顯，由于熱膨脹和冷收縮效應(yīng)安全鏈，探針與卡盤之間可能會出現(xiàn)熱漂移，從而影響探針與 PAD 點之間的對準(zhǔn)創新為先，增加晶圓探針測試的難度真正做到。更有一些晶圓測試要求在**溫度環(huán)境下，甚至達到 500°C 以上創新延展。隨著溫度的升高強化意識，探針臺也將面臨更大的溫度范圍測試壓力。
高低溫晶圓探針臺需要確保
1）溫度的均勻穩(wěn)定性進展情況；為晶圓測試提供精確的溫度環(huán)境的積極性，既反應(yīng)探針臺機械的穩(wěn)定性異常狀況，又是影響測試數(shù)據(jù)真實結(jié)果的關(guān)鍵共創美好；
2）升降溫速率；探針臺的升降溫速率也是一項重要的指標(biāo)更高效。低溫測試時提升行動，避免空氣中的水蒸氣在樣品上凝結(jié)成露水能力建設，從而避免漏電過大或探針無法接觸電極而使測試失敗。同時研究進展，在真空環(huán)境中無障礙，傳熱的方式作用下，能更有效的提高制冷效率快速融入。高溫測試時認為，在真空環(huán)境下，也能有效減少樣品氧化增強，從而避免樣品電性誤差重要意義、物理和機械上的形變。
智測電子TC-WAFER高低溫探針臺晶圓測溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體硅片測溫應(yīng)用于高低溫晶圓探針臺更加廣闊，測量精度可達mk級別規劃，可以多區(qū)測量晶圓特定位置的溫度真實值，也可以精準(zhǔn)描繪晶圓整體的溫度分布情況可以使用，還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化進入當下，了解升溫、降溫以及恒溫過程中設(shè)備的有效性稍有不慎。
智測電子還提供整個實驗室過程的有線溫度計量重要作用，保證溫度傳感器的長期測量精度。
合肥智測電子致力于高精度溫測最為顯著、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定制尤為突出，為半導(dǎo)體設(shè)備提供可靠的國產(chǎn)解決方案物聯與互聯。
高低溫探針臺晶圓測溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體硅片測溫
