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NS3600 激光三維表面輪廓儀

參考價 800000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀講理論,是韓國Nanoscope System 公司專門為低維材料科學研究所研發(fā)的一款激光共聚焦顯微鏡的可能性。NS3600 采用的是638nm 的激光作為光源,測量時無需與樣品表面接觸即可獲得樣品表面的三維測量數據服務為一體,是進行低維材料表面檢測有效的工具問題。

詳細信息 在線詢價

NS3600三維表面輪廓儀

NNS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀,通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像全會精神。在測量和檢測微觀三維結構系統穩定性,如半導體晶片,FPD產品集中展示,MEMS設備實力增強,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案探索創新。

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):

  • 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

  • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

  • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

    大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

  • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備


Software (軟件):

Application field(應用領域):

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案帶來全新智能。

可測量微米和亞微米結構的高度,寬度配套設備,角度更優質,面積和體積相對開放,例如

-半導體:IC圖形推進高水平,凹凸高度,線圈高度拓展應用,缺陷檢測生產創效,CMP工藝

- FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案管理,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓優化上下,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池模樣,太陽能電池紋理生產體系,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,粗糙度狀態,裂紋分析



Specifications(規(guī)格)

Model

Microscope                         NS-3600

備注

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x


觀察/  測量范圍  

水平 (H): μm

1400

700

280

140


垂直 (V): μm

1050

525

210

105


WD: mm

16.5

3.1

0.54

0.3


數值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95


觀察/測量光學系統  

針孔共聚焦光學系統


高度測量

測量掃描范圍

10mm


顯示分辨率

0.001 μm


重復率 σ

0.02 μm

注1

寬度測量

顯示分辨率

0.001 μm


重復率 3σ

0.03 μm

注 2

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


單色圖像

12 bit


彩色圖像

8-bit for RGB each


高度測量

16 bit


幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz


線掃描

~8 kHz


激光接收元件

PMT (光電倍增管)


激光

波長

638nm (2mW)


光學觀察照相機

成像元件

彩色圖像 CCD 傳感器


記錄分辨率

1296x966


數據處理單元

PC


電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


電流消耗

500 VA max.


重量

顯微鏡

大約. ~50 kg

(測量頭大約: ~12 kg)


控制器

~8 kg


隔振系統

氣浮隔振

Option




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