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235 真空紫外光譜儀

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Model 235 Seya-Namioka 結(jié)構(gòu)單色儀

  • 更大的操作空間
  • 內(nèi)部焊接的不銹鋼結(jié)構(gòu)
  • 微米精度的可調(diào)狹縫
  • 高分辨率
  • 光柵繞其頂點(diǎn)旋轉(zhuǎn)
  • 像差校正光柵可選
 

 
       Model 235是McPherson的一款500mm焦距f/11.4的Seya-Namioka結(jié)構(gòu)單色儀生產效率。光學(xué)系統(tǒng)置于不銹鋼結(jié)構(gòu)的腔中產能提升,腔內(nèi)可以達(dá)到10^-7 Torr的真空度。儀器使用1200g/mm的光柵時(shí)節點,分辨率為0.05nm通過活化。入射和出射光束間的夾角為70°15′。長(zhǎng)焦距保證了分辨率的提升和操作空間的增加的特點。不銹鋼結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)在與可以保證很高的真空度健康發展,并且在與樣品室或微通道板增強(qiáng)器的連接中,更容易隔絕污染物大數據。
 
       Seya-Namioka結(jié)構(gòu)中所有元件(狹縫和光柵)都置于羅蘭圓上非常重要。在比較寬的波段保證了較好的分辨率,針對(duì)不同的應(yīng)用來(lái)考慮象散的情況提升。儀器出射端成像的高度在理論上等于入射像的高度加上光柵刻線高度的2/3高品質。25mm左右的出射像高并不罕見(jiàn)。當(dāng)使用光電倍增管(一個(gè)較大的光陰極)掃描排放源或樣品時(shí)支撐能力,或?qū)x器作為一個(gè)過(guò)濾器使用(來(lái)篩選等離子線)時(shí)資源優勢,不存在任何問(wèn)題,對(duì)于其他的應(yīng)用特征更加明顯,如果需要在一定程度上矯正光柵所引起的像差時(shí)估算,在一定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)是可以做到的,以改善性能的可能性。
 
       選擇合適的光柵不要畏懼,該光譜儀波長(zhǎng)范圍可以通過(guò)掃描方式從30nm覆蓋到1.2um。

 
技術(shù)參數(shù)

焦距500-mm focal length Seya-Namioka design
出口狹縫與入口狹縫的角度70° 15'
f 數(shù)11.6
光柵30 x 50-mm ruled area
波長(zhǎng)精度+/-0.1-nm (on counter, with 1200 G/mm grating)
波長(zhǎng)重復(fù)性+/- 0.005 nm (with 1200 G/mm grating)
焦平面Multiply dispersion by the width of your detector for range
波長(zhǎng)覆蓋范圍refer to grating of interest for range

光柵選擇
刻劃線數(shù)(G/mm) (others available)240018001200600300
波長(zhǎng)覆蓋范圍
30nm
150nm200nm300nm600nm1.2um
閃耀波長(zhǎng)holoholoholoholoholo
   70 nm150 nm550 nm
   150 nm  
   200 nm  
分辨率(在 313.1nm0.0250.0350.050.10.2
線色散倒數(shù)(nm/mm)0.831.11.663.336.66
 
 


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