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納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列

參考價(jià) 200000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/4/29 17:02:22
  • 訪問(wèn)次數(shù) 9

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納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái)再獲。具有高穩(wěn)定度產品和服務、高分辨率,精密位移體驗區,大負(fù)載的功能增多。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu),工作過(guò)程沒(méi)有摩擦有望, 無(wú)灰塵產(chǎn)生進一步推進,沒(méi)有爬行現(xiàn)象。產(chǎn)品尺寸較多標準,可以根據(jù)需要靈活選擇示範推廣,該系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對(duì)于精密位移亞微米級(jí)調(diào)整有需求的客戶。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列產(chǎn)品概述

說(shuō)明:

QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)即將展開,直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái)大幅增加。該系列滑臺(tái)具有 高穩(wěn)定度、高分辨率傳承,精密位移等特點,大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)綠色化發展,工作過(guò)程沒(méi)有摩擦至關重要,無(wú)灰塵產(chǎn)生,沒(méi)有爬行現(xiàn)象用上了。直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提升行動,齒槽小能力建設,分辨率高,輕松實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位需求研究進展。產(chǎn)品尺寸較多無障礙,可以根據(jù)需要靈活選擇,QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對(duì)于精密位移亞微米級(jí)調(diào)整有需求的客戶快速融入。臺(tái)面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要認為,下方標(biāo)準(zhǔn)固定孔方便將其與其他滑臺(tái)連接,組成多維移動(dòng)臺(tái)增強。

特點(diǎn):

· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌重要意義,運(yùn)動(dòng)無(wú)爬行,直線度好更加廣闊,負(fù)載可控制規劃, 穩(wěn)定性好;

· 采用直線電機(jī)方便,微步能力好基礎上,驅(qū)動(dòng)力可控,速度穩(wěn)定應用領域;

納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列臺(tái)命名規(guī)則:

QF 25-300 S-BNA

QF  系列代碼:

QF:單軸空氣軸承類滑臺(tái)  QFD:XY組合空氣軸承類滑臺(tái)

QFH:龍門(mén)組合空氣軸承類滑臺(tái)

25  臺(tái)面寬度:

25:250mm 30:300mm

300   有效行程:

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S      基座材質(zhì):

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化硅

B    分辨率:

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N    電機(jī)類型:

N:無(wú)鐵芯

M:有鐵芯

A    臺(tái)面材質(zhì):

A:鋁合金

T:其它

以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品保持競爭優勢,其余配置請(qǐng)聯(lián)系銷售進(jìn)行定制。

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)選項(xiàng)表

型號(hào)

QF25-100A-BNA

QF25-200A-BNA

QF25-300A-BNA

QF25-400A-BNA

臺(tái)面尺寸(mm)

245x200(運(yùn)動(dòng)方向)

厚度(mm)

120

移動(dòng)量(mm)

100

200

300

400

光柵尺分辨率(nm)

20

驅(qū)動(dòng)方式

無(wú)鐵芯直線電機(jī)

導(dǎo)軌

一體式靜壓導(dǎo)軌

雙向重復(fù)精度(μm)

0.4

無(wú)*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

2.5

3

3

俯仰(arcsec)

4.5

偏擺(arcsec)

2.1

主體材料及表面處理

鋁合金發展機遇,黑色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化處理

中心負(fù)載(Kg)

10/μm

型號(hào)

QF25-400S-BNA

QF25-500S-BNA

QF25-600S-BNA

QF25-800S-BNA

臺(tái)面尺寸(mm)

290x200(運(yùn)動(dòng)方向)

厚度(mm)

189

移動(dòng)量(mm)

400

500

600

800

光柵尺分辨率(nm)

20

驅(qū)動(dòng)方式

無(wú)鐵芯直線電機(jī)

導(dǎo)軌

氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌

雙向重復(fù)精度(um)

0.3

無(wú)*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

3

5

5

俯仰(arcsec)

2

偏擺(arcsec)

2

主體材料及表面處理

大理石長效機製,鋁合金

中心負(fù)載(Kg)

15/um

說(shuō)明 :

1.以上測(cè)試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L  控制系統(tǒng)下,采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下全技術方案,采用等級(jí)為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測(cè)試分享;

2.測(cè)試用氣體0.5MPa 壓縮空氣,做過(guò)濾和除水工藝信息化;

3.測(cè)試環(huán)境介于萬(wàn)級(jí)~十萬(wàn)級(jí)潔凈空間內(nèi)方式之一;

4.測(cè)試溫度20±1℃,濕度40~60%。

特點(diǎn)和選型指導(dǎo)

項(xiàng)目

xxxA

xxxS

xxxC

材質(zhì)

鋁合金

大理石

碳化硅陶瓷

導(dǎo)軌長(zhǎng)度(mm)

200~800

400~3000

400~2000

外形尺寸(mm)

超小~中

中~超大

小新型儲能、中創新能力、大

制作方式

機(jī)加工

磨削

燒制

重復(fù)精度(μm)

0.3

0.3

0.25

直線度(μm)

1~3

2~5

2~3

組合形式

X, XY(小)

X、XY一站式服務、龍門(mén)

X廣度和深度、XY、龍門(mén)

造價(jià)(元)

1~10

5~100

50~1000

尺寸圖:

納米/氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列

北京卓立漢光儀器有限公司

|

手機(jī):13810146393

聯(lián)系人:賀

電話:86-010-56370168-696

傳真:010-56370118

(聯(lián)系我時(shí)引領作用,請(qǐng)說(shuō)明是在儀器網(wǎng)上看到的加強宣傳,謝謝!)

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