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Best tools 勻膠顯影一體機(jī) SC100D

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  • 公司名稱 北京燕京電子有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2020/3/25 15:55:03
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1124

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SC100D勻膠顯影機(jī)是在SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)的基礎(chǔ)上增加了顯影系統(tǒng)長期間,被設(shè)計(jì)為用來(lái)處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影基本情況。
SC100D在SC100勻膠機(jī)上增加了顯影液防濺罩現場,多可配備四路噴淋系統(tǒng)高端化,包括顯影液和去離子水等,以及滿足客戶其他工藝要求的試劑我有所應。每一路自動(dòng)噴液系統(tǒng)包括:噴嘴提單產、噴嘴支架、氣體控制閥至關重要、控制器發展空間、壓力桶和配套連接管路等部件。

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圖片

 

簡(jiǎn)介

SC100D勻膠顯影機(jī)是在SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)的基礎(chǔ)上增加了顯影系統(tǒng)有所應,被設(shè)計(jì)為用來(lái)處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影足了準備。

SC100D在SC100勻膠機(jī)上增加了顯影液防濺罩,多可配備四路噴淋系統(tǒng)著力提升,包括顯影液和去離子水等深刻內涵,以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動(dòng)噴液系統(tǒng)包括:噴嘴融合、噴嘴支架深入闡釋、氣體控制閥、控制器完成的事情、壓力桶和配套連接管路等部件物聯與互聯。

SC100D使用工業(yè)級(jí)伺服馬達(dá)和高級(jí)PLC控制,7寸全彩觸屏人機(jī)操作界面改造層面。設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊供給、簡(jiǎn)單易用,可進(jìn)行程控操作經驗分享,具有優(yōu)異的性價(jià)比解決方案。

規(guī)格參數(shù)

 

功能圖解

 

應(yīng)用系統(tǒng)

PDMS芯片制作

MEMS器件加工


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