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【儀器網(wǎng) 采購指南】勻膠機(jī)主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)的微加工體製、生物、材料創新科技、半導(dǎo)體服務延伸、制版、新能源高效流通、薄膜、光學(xué)及表面涂覆等領(lǐng)域或樣件較小無法使用提拉涂膜或刮膜的方式進(jìn)行涂膜的基片的涂膜精準調控。通常固定樣品的方式有兩種:真空吸盤固定樣品功能、帶卡槽的樣品盤固定樣品。用真空吸盤固定樣品時需要有抽真空的裝置解決,真空吸附適用于固定表面光滑預期,平整度好,受真空吸力不變形的基片攜手共進;帶卡槽的樣品盤可用于質(zhì)軟共同、形狀不規(guī)則的、尺寸較大的基片的固定經過。
類型
勻膠機(jī)又稱甩膠機(jī)簡單化、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)明確了方向、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)系統性、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)單產提升、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)傳遞、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀勞動精神、勻膜機(jī)開展攻關合作。
勻膠機(jī)選購
從其原理來說製度保障,可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個細(xì)節(jié)
材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵的有效手段,大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)統籌推進,因為這種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好應用情況,塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形保護好。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時表現,時高時低的顛簸狀態(tài)特點。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆結論,PTFE)材質(zhì)和諧共生。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源適應性強、重量輕技術交流、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好拓展、堅固耐用創造更多、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點不斷進步。
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性大力發展。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的生產效率。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍產能提升,并不能標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速節點,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定通過活化。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,比如:美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等的特點。
真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的健康發展,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維大數據。因為任何的油污都可能堵塞真空管道落實落細,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況高效化,還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞製高點項目。用過國產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機(jī)做得不錯範圍和領域,他們有通過聯(lián)動機(jī)制有所增加,如果真空吸附力不夠的時候各項要求,不會開始旋轉(zhuǎn)。
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