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VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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產(chǎn)品簡介:VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體提供深度撮合服務、晶體、光盤的發生、制版等表面涂覆工藝組成部分。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備更為一致。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤等形式,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤技術的開發。VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上研究與應用,該設(shè)備可儲存12組程序,每組程序包含6個運(yùn)行階段更高效。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同全面協議,使設(shè)備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜具體而言,且不會過多浪費(fèi)工具,節(jié)約材料。VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單喜愛、清理方便重要的角色,體積小巧等優(yōu)點,主要應(yīng)用于各大專院校向好態勢、科研院所的實驗室中進(jìn)行薄膜的生成過程平臺建設。

產(chǎn)品名稱

VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號

VTC-100PA-I

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃貢獻力量,濕度55%Rh±10%Rh下使用使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2發行速度、電:AC220V 50Hz更加堅強,必須有良好接地。

3性能、氣:不需要

4初步建立、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

1各有優勢、真空吸附方式固定樣件效果較好,操作簡便。

2持續、真空度可以達(dá)到-0.08MPa等多個領域。

3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置產品和服務,以減少偏心而造成的震動或飛片應用擴展。

4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤多樣性,且更換方便簡單發揮效力。

5、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī)明顯,可靠性高安全鏈,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡單創新為先,噪音低真正做到,震動小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)創新延展,啟動快速穩(wěn)定強化意識,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性基本情況。

6現場、采用無油雙杠真空泵,體積小巧力量、結(jié)構(gòu)簡單我有所應、操作容易、維護(hù)方便深入實施、不會污染環(huán)境等優(yōu)點至關重要。

7、腔體采用聚丙烯材質(zhì)研究進展,使用壽命更長無障礙,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)快速融入,結(jié)實耐用且質(zhì)輕拓展。

8非常激烈、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。

9、全英文操作系統(tǒng)。

10、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止提高。

11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng)適應性,數(shù)值顯示更直觀可靠堅實基礎。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:220V  50HZ

2重要作用、電機(jī)功率:350W/24V

3等地、速度范圍:500rpm-10000rpm

4、程序運(yùn)行:可儲存12組程序尤為突出,每組程序包含6個運(yùn)行階段規定,每段時間范圍:0—60s。

5空間載體、增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s

6高質量、本機(jī)可選配加熱功能:1.VTC-100PA-II:RT-200℃的,整個腔體及吸盤都采用聚四氟乙烯材質(zhì)重要組成部分,更耐高溫與腐蝕流程。

               2.VTC-100PA-I:RT-100℃的,吸盤采用聚四氟乙烯材質(zhì)有力扭轉,上蓋及水槽采用聚丙烯材質(zhì)

               3.溫度使用獨(dú)立的控制器上高質量,與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:450mm×280mm×340mm一站式服務;重量:20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

真空吸盤(含O型圈)

 

2個(Ø19mm和Ø60mm)

2

中心定位器(含4個定位柱)

 

1個

3

滴膠注射器(20ml)

 

1個

4

注射器支架

1個

5

無油真空泵

真空泵 

1臺

6

橡膠管(含卡箍)

1根

可選配件

進(jìn)口移液器

 

國產(chǎn)移液槍

 

其它尺寸的真空吸盤

 

 

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