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　　勻膠工作原理

 

　　一個典型的勻膠過程包括滴膠,高速旋轉(zhuǎn)以及干燥(溶劑揮發(fā))幾個步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上行業分類，高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上形成簿層技術特點，干燥這一步除去膠層中多余的溶劑。兩種常用的滴膠方式是靜態(tài)滴膠和動態(tài)滴膠發展邏輯。靜態(tài)滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心凝聚力量，滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定聽得進。粘度比較高或基片比較大新的力量，往往需要滴較多的膠，以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個基片上都涂到膠各項要求。動態(tài)滴膠方式是在基片低速（通常在500轉(zhuǎn)/分左右）旋轉(zhuǎn)的同時進(jìn)行滴膠更高要求，“動態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開，減少光刻膠的浪費新技術，采用動態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕（鋪展覆蓋）整個基片表面共同學習。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下，動態(tài)滴膠尤其適用深入，不會產(chǎn)生針孔效高。滴膠之后，下一步是高速旋轉(zhuǎn)基礎。使光刻膠層變薄達(dá)到終要求的膜厚性能，這個階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能（包括粘度大局，溶劑揮發(fā)速度新創新即將到來，固體含量以及表面張力等）以及基片的大小∮行蛲七M？焖傩D(zhuǎn)的時間可以從10秒到幾分鐘設施。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時間往往能決定終膠膜的厚度。

 

　　一般來說堅定不移，勻膠轉(zhuǎn)速快組合運用，時間長更讓我明白了，膜厚就薄。影響勻膠過程的可變因素很多積極，這些因素在勻膠時往往相互抵銷并趨于平衡探索。所以給予勻膠過程以足夠的時間，讓諸多影響因素達(dá)到平衡產業。勻膠工藝中重要的一個因素就是可重復(fù)性滿意度。微細(xì)的工藝參數(shù)變化會帶來薄膜特性巨大的差異，下面對一些可變的因素進(jìn)行分析：