缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡主要參數(shù)：
1.XY手動運動臺動運動臺
8吋晶圓XY手動/電動運動臺模組
XY運動軸精度：≤2 μm
行程：205 mm * 205 mm
XY運動軸帶離合器手柄，可快速移動
2.Z軸運動臺
Z軸同時配備電傳手輪和碼盤
Z軸微調精度：≤1 μm
行程：≥36 mm
3.物鏡模組
采用蔡司原裝的手動/電動物鏡切換裝置
蔡司EpiPlan消色差物鏡深入開展，EPN半復消色差物鏡以及EPA復消色差物鏡
4.光源模組
5W LED透射式光源
10W LED透射式光源
5.晶圓放置模組
兼容多尺寸晶圓的載物臺（可兼容4英寸求得平衡，6英寸和8吋晶圓片）
保留透射光路，晶圓載物臺可拆卸空間廣闊，支持液晶面板的檢測功能
6.成像觀察模組
適配蔡司的Axiocam系列相機，禾峁┥疃却楹戏?？低曄盗邢鄼C
適配蔡司的目鏡（選配）
提供明場/暗場的觀察方式服務品質，可選配微分干涉，熒光和偏光的觀察方式
7.遠程控制手柄
物鏡切換裝置按鈕
照明光光強控制按鈕組成部分，并且可以隨物鏡/觀察方式自動調節(jié)當前光強
反射照明和透射照明切換按鈕
電傳Z軸聚焦旋鈕影響，XY運動軸遙感
缺陷標記和主動對焦快速確定按鈕
8.主動對焦模組
可兼容主動對焦模組，實現(xiàn)50×物鏡下對被觀察的實時對焦功能
9.缺陷標記模組
可兼容缺陷標記模組的過程中，實現(xiàn)對樣品缺陷部分進行實時標記 晶圓搬運模組
10.晶圓搬運模組
可兼容晶圓搬運模組發展契機，實現(xiàn)晶圓片的自動上下料
缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡為半導體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領域提供多維度的自動檢測方案
