Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡旨在為客戶提供簡單易用的操作環(huán)境達到，通過集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡、遠程控制手柄和強大的操作軟件等配置不可缺少，使得客戶在使用時無需自行開發(fā)或整合所有模塊蓬勃發展，就可以完成對整個晶圓級樣品的換樣、缺陷標記積極回應、數(shù)據(jù)分析到輸出客戶體系報告的全流程任務(wù)重要性，確保檢測結(jié)果的標準化與可重復(fù)性，以工程化的思維解決碎片化的需求多種場景，使整個工作流程無縫銜接多元化服務體系。

“交鑰匙”式晶圓檢查解決方案 

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡旨在為客戶提供簡單易用的操作環(huán)境，通過集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡擴大公共數據、遠程控制手柄和強大的操作軟件等配置深度，使得客戶在使用時無需自行開發(fā)或整合所有模塊帶動擴大，就可以完成對整個晶圓級樣品的換樣、缺陷標記開拓創新、數(shù)據(jù)分析到輸出客戶體系報告的全流程任務(wù)持續發展，確保檢測結(jié)果的標準化與可重復(fù)性，以工程化的思維解決碎片化的需求促進善治，使整個工作流程無縫銜接擴大，讓客戶聚集于業(yè)務(wù)決策而非技術(shù)細節(jié)。

實時測量發揮效力，提供準確數(shù)據(jù)

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡可提供多種測量方案新格局，通過搭配自動對焦模組，可實時采集待測樣品多個維度下的信息服務水平。在實時對樣品表面進行特征線性尺寸最新、角度、圓直徑處理方法、矩形邊測量等基礎(chǔ)測量的同時重要作用，基于嵌入式處理單元搭建模型環(huán)境，從而實現(xiàn)數(shù)據(jù)本地實時處理和模型訓(xùn)練習慣，避免數(shù)據(jù)傳輸或云端引入的延遲來進行實時二維材料層數(shù)識別或者光學(xué)元器件的自動分揀充足，最終根據(jù)客戶導(dǎo)入的報告體系，生成最終的檢測報告建強保護。

 延續(xù)蔡司品質(zhì)效果，歷經(jīng)百年的光學(xué)質(zhì)量

整合ICCS光學(xué)優(yōu)勢，實現(xiàn)更好的光學(xué)成像效果 提供明場合規意識、暗場密度增加、DIC、偏光以及熒光等多種方式來對樣品進行觀察和檢測創新內容。

偏光（a）

偏光（b）

暗場

明場

熒光檢測（a）

熒光檢測（b）

DIC(a)

DIC(b)

豐富的物鏡選項

蔡司物鏡提供的光學(xué)性能機遇與挑戰，通過高分辨率圖像顯示微小特征結(jié)構(gòu)，無論是材料紋理還是結(jié)構(gòu)細節(jié)善於監督，都能精準呈現(xiàn)集成技術。 復(fù)消色差物鏡在消色差的同時，保證在400-700nm內(nèi)有更高透過率更合理，并且通過更高的數(shù)值孔徑實現(xiàn)更高的空間分辨率適應能力，適合高精度量測任務(wù)。