國(guó)產(chǎn)白光干涉儀也叫白光干涉儀深入闡釋，是以白光干涉技術(shù)原理相關性，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌物聯與互聯，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度穩定、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。
SuperViewW1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀具有測(cè)量精度高供給、操作便捷優勢與挑戰、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)解決方案，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)趨勢，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式上高質量，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量一站式服務。
產(chǎn)品功能
1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能著力增加；
2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦智能化、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；
3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能新的力量；
4）分析中提供校平、圖像修描極致用戶體驗、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能應用；
5）分析中提供粗糙度分析建議、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析相貫通、頻率分析不斷發展、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能自動化方案。
大尺寸樣品_拼接測(cè)量
性能特色
1緊密協作、高精度、高重復(fù)性
1）采用光學(xué)干涉技術(shù)線上線下、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)發揮重要作用，保證測(cè)量精度高醒悟；
2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)高質量，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲也逐步提升，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測(cè)量重復(fù)性註入了新的力量；
2重要的作用、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能
具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊，能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾去創新，在設(shè)備調(diào)試足夠的實力、日常監(jiān)測(cè)、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐結構。
3更適合、精密操縱手柄
集成X、Y溝通協調、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄先進水平，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦全面展示、找條紋等測(cè)量前工作。
4深刻認識、雙重防撞保護(hù)措施
在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外核心技術，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)主動性，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)創造性，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)道路。
5規模設備、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作指導。
應(yīng)用范例
