品牌：恩科優(yōu)（N&Q）

型號(hào)：NXQ400-8

產(chǎn)地：美國(guó)

       恩科優(yōu)光刻機(jī)分為半自動(dòng)和全自動(dòng)兩大系列進入當下。其中，N&Q4000系列光刻機(jī)是以半自動(dòng)系統(tǒng)為主效高化。該系統(tǒng)*的操作性新體系，超高的分辨率，均勻的光學(xué)系統(tǒng)創造，現(xiàn)代*的接近式和接觸式光刻及超高的性?xún)r(jià)比不難發現，使恩科優(yōu)光刻系統(tǒng)已經(jīng)被全國(guó)各地眾多*企業(yè)、研發(fā)中心設備製造、研究所和高校采用發展需要，并成為他們光刻系統(tǒng)的；

二管理、技術(shù)參數(shù)：

1顯示、芯片尺寸：5mm~200mm的圓片/方片和不規(guī)則碎片（支持對(duì)不規(guī)則碎片的特殊卡盤(pán)設(shè)計(jì)）；

2效率和安、曝光波長(zhǎng)：350nm-450nm（其它波長(zhǎng)可選配）設計能力；

3、汞燈功率：350W/500W（其它功率可選配）深入開展；

4更為一致、分辨率：優(yōu)于0.5um；

5技術的開發、曝光模式：支持接近式曝光研究與應用，各種接觸式（真空接觸、軟接觸服務品質、硬接觸等）曝光的發生；

6、出射光強(qiáng)范圍：10mW/cm2~55mW/cm2@405nm影響；

7新的動力、支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式；

8發展契機、曝光時(shí)間：0.1~999.9s像一棵樹；

9、對(duì)準(zhǔn)精度：雙高清彩色CCD + 雙高清彩色監(jiān)視器去突破，對(duì)準(zhǔn)精度可達(dá)到0.4微米內(nèi)能運用；

10達到、掩膜尺寸：2 x 2英寸到 9 x 9英寸(2 x 2英寸需要掩膜轉(zhuǎn)換器)；

11不可缺少、光強(qiáng)均勻性Uniformity：

<±1% over 2” 區(qū)域蓬勃發展；

<±2% over 4” 區(qū)域；

<±3% over 6” 區(qū)域積極回應；

12重要性、雙面光刻：具備背面紅外對(duì)準(zhǔn)（IR BSA）和光學(xué)背面對(duì)準(zhǔn)（OBS BSA），雙面對(duì)準(zhǔn)精度≤2μm多種場景；

13多元化服務體系、電源：高靈敏度光強(qiáng)可控電源。

可選型號(hào)：

NXQ400-6 

NXQ400-8

NXQ800-6

NXQ8006 Sapphire

NXQ800-8

三擴大公共數據、產(chǎn)品特點(diǎn)：

可選支持單面對(duì)準(zhǔn)和雙面對(duì)準(zhǔn)設(shè)計(jì)深度；

高清晰彩色雙CCD鏡頭的分裂視場(chǎng)顯微鏡鏡頭（基于無(wú)限遠(yuǎn)修正的CCD鏡頭設(shè)計(jì)）；雙頭高清全彩物鏡（單視場(chǎng)或分裂視場(chǎng)可供用戶(hù)靈活選擇）核心技術體系；

高清彩色雙顯示屏開拓創新；

全新氣動(dòng)軸承導(dǎo)軌設(shè)計(jì)，高精準(zhǔn)初步建立，低磨損綜合運用，無(wú)需售后維護(hù)的；

具有自動(dòng)執(zhí)行楔形誤差補(bǔ)償的方法，并在找平后自動(dòng)定位功能實事求是；

操作簡(jiǎn)易，具有支持多操作員同臺(tái)使用的友好操作界面落到實處；

操控手柄調(diào)控模式的*設(shè)計(jì)服務水平；

采用LED穿透物鏡照明技術(shù)，具有*對(duì)準(zhǔn)亮度技術創新；

采用基于無(wú)限遠(yuǎn)修正的顯微鏡鏡頭架構(gòu)處理方法；

抗衍射反射的高效光學(xué)光路設(shè)計(jì)；

帶安全保護(hù)功能的溫度和氣流傳感器持續向好；

全景準(zhǔn)直透鏡光線偏差半角: <1.84度習慣；

設(shè)備穩(wěn)定性，耐用性超高兩個角度入手；