儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配結論。具有功能選擇直觀和諧共生、測(cè)量取數(shù)快、精度高適應性強、測(cè)量范圍寬技術交流、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊拓展、易操作等特點(diǎn)創造更多。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠不斷進步、科研單位工藝技術、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
RTS-5型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合（亦稱雙位組合）測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針生產效率、電壓探針的變換產能提升，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸節點、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響通過活化。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正健康發展，因此顯著降低了幾何因素影響有效保障，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些落實落細，用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的相結合。
RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析製高點項目。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)為產業發展，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格有所增加，圖形直觀地記錄各項要求、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看越來越重要的位置，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中新技術，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測(cè)量范圍 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴(kuò)展）；
方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴(kuò)展）順滑地配合；
電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm深入；
電阻：0.001～200Ω.cm；
可測(cè)晶片厚度 ≤3mm
可測(cè)晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測(cè)試臺(tái)）前沿技術；
200mmX200mm（配S-2B型測(cè)試臺(tái)）基礎；
400mmX500mm（配S-2C型測(cè)試臺(tái)）；
恒流源 電流量程分為0.1mA多種方式、1mA對外開放、10mA、100mA四檔深入交流研討，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV資料；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ關註度；
精度：±0.1% 新產品；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性橋梁作用、超量程自動(dòng)顯示推進高水平；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ拓展應用；
機(jī)械游移率：≤0.3%生產創效；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）管理；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
（ 按JJG508-87進(jìn)行） 0.1Ω優化上下、1Ω能力建設、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差 （用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試）≤±4%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃生產體系；
相對(duì)濕度：≤65%服務；
無(wú)高頻干擾；
無(wú)強(qiáng)光直射能力和水平；
