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飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)邁出了重要的一步，也叫靜態(tài)二次離子質(zhì)譜有序推進，是飛行時(shí)間和二次離子質(zhì)譜結(jié)合的一種新的表面分析技術(shù)設施。TOF-SIMS具有高分辨、高靈敏度堅定不移、精確質(zhì)量測(cè)定等性能組合運用，是目前高技術(shù)領(lǐng)域廣泛使用的分析技術(shù)。
非常靈敏的表面分析手段迎難而上。其憑借質(zhì)譜分析積極、二維成像分析、深度元素分析等功能進一步完善，廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)集聚、細(xì)胞學(xué)、地質(zhì)礦物學(xué)調整推進、微電子狀況、材料化學(xué)、納米科學(xué)機製、生命科學(xué)等領(lǐng)域全過程。
TOF-SIMS主要通過離子源發(fā)射離子束濺射樣品表面進(jìn)行分析。離子束作為一次離子源探討，經(jīng)過一次離子光學(xué)系統(tǒng)的聚焦和傳輸不負眾望，到達(dá)樣品表面。樣品表面經(jīng)過濺射調解製度，產(chǎn)生二次離子精準調控，系統(tǒng)將產(chǎn)生的二次離子提取和聚焦，并將二次離子送入離子飛行系統(tǒng)應用的因素之一。在離子飛行系統(tǒng)中解決，不同種類的二次離子由于質(zhì)荷比不同，飛行速度也不同開展試點，在飛行系統(tǒng)分離攜手共進，通過檢測(cè)這些離子進(jìn)行相關(guān)分析[1]。
二次離子質(zhì)譜主要利用質(zhì)譜法區(qū)分一次離子濺射樣品表面后產(chǎn)生的二次離子推進一步，可用來分析樣品表面元素成分和分布經過。
飛行時(shí)間分析技術(shù)利用不同離子的質(zhì)荷比不同造成的飛行速度不同來區(qū)分不同種類的離子。
TOF-SIMS結(jié)合了二次離子質(zhì)譜和飛行時(shí)間器的功能力度，提高了檢測(cè)樣品元素成分和分布的準(zhǔn)確性明確了方向。
TOF-SIMS橫向和縱向的分辨率高且質(zhì)譜提供的靈敏度高，可以分析元素善謀新篇、同位素增產、分子等信息。
這些特點(diǎn)使得TOF-SIMS成為表面分析的主要技術(shù)之一方法，可以提供EDX行動力、AES提供有力支撐、XPS等技術(shù)無法提供的元素信息。
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展會(huì)城市：佛山市展會(huì)時(shí)間：2025-05-21