飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS)

技術參數(shù)

1.空間分辨率：使用25千伏Ga脈沖離子束，使用PHI提供的監(jiān)測結構等形式，空間分辨率*120 nm
2.質量精確度: 在小于m/z = 100情況下技術的開發，*2 mamu，在大于m/z = 100飛躍，<10 ppm
3.傳輸率: 40%的原子更高效，90%的分子，數(shù)值由離子光學模擬計算得出重要部署。

主要特點

1.標準配置In,Ga離子槍具體而言，還可以選配Cs/O離子源和Au離子源
2.高靈敏度，高成像清晰度智慧與合力，無陰影效應
3.動態(tài)范圍寬