EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子方案。采用技術(shù)的SIMS 探針關鍵技術，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學(xué)研究反應(yīng)室。

應(yīng)用：

· 靜態(tài) /動(dòng)態(tài)SIMS
· 一般目的的表面分析
· 整體的前端離子源研究成果，便于RGA和 SNMS
· 兼容的離子槍/ FAB 槍
· 成分/污染物分析
· 深度分析
· 泄漏檢測(cè)
· 與Hiden SIMS 工作站兼容

特點(diǎn)：
· 高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器取得了一定進展，7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
· SIMS 成像，分辨率在微米以下
· 光柵控制大面積，增強(qiáng)深度分析能力
· 45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
· 所有能量范圍內(nèi)積極參與，離子行程的zui小擾動(dòng)，及恒定離子傳輸
· 差式泵3級(jí)過濾四極桿培養，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
· 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器
· Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
· 通過RS232交流研討、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制