FIG 05離子源不但具有zui小150微米束斑和zui高5keV能量業務指導，可以用于深度剖析和ISS改進措施。而且FIG 05還可以提供*束流的能量小于10 eV的低能離子，適用于需要正離子的雙束電荷中和長足發展。

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