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主要技術(shù)參數(shù)●波長范圍:185nm-3300nm●橢偏類型:采用PEM相位調(diào)制●測量范圍:Psi=0°-90°效果較好,Delta=0°-360°無死區(qū)●入射角:55°-90°

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主要技術(shù)參數(shù)
● 波長范圍:185nm-3300nm
● 橢偏類型:采用PEM相位調(diào)制
● 測量范圍:Psi= 0°-90°,Delta= 0°-360°無死區(qū)
● 入射角: 55°-90°持續;入射角控制精度:5°
● 樣品臺尺寸:可放置直徑150mm等多個領域、厚度≥20mm的樣品
 
功能特點(diǎn)
● 配置了3個檢測器,在1500 nm波長檢測時噪聲小于0.00003 Abs高質量,達(dá)到低的噪聲水平提供了有力支撐。
● 采用高性能雙單色器,實(shí)現(xiàn)高分辨率(分辨率0.1nm)和超低雜散光(340nm處雜散光0.00005%以下)前景。
 
 


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