微聚焦X射線裝置：搭載微聚焦X射線發(fā)生器和的光路轉(zhuǎn)換聚焦系統(tǒng)的必然要求，最小測量面積達(dá)0.002mm2

變焦裝置及位置補(bǔ)償算法：可對各種異形凹槽件進(jìn)行無損檢測，凹槽深度范圍0-90mm

自主研發(fā)的EFP算法：Li（3）-U（92）元素的涂鍍層取得了一定進展，多層多元素完善好，甚至有同種元素在不同層也可精確測量

測量速度快效率高：一鍵測試、各部件置入下位機(jī)控制可能性更大，搭載可編程自動化移動平臺部署安排，移動精度2um，一次編程坐標(biāo)存儲無人值守檢測成百上千個樣品

高性能接收器：自由選配高性能接收器技術，無論微小樣品推廣開來、超大工件還是密集型多點測試均可輕松應(yīng)對，可檢測納米級厚度

自動智能檢測：大行程內(nèi)無人值守自動測量相對較高，搭配AI影像識別資源配置，實現(xiàn)自動、智能相關、在線檢測