超高的基本性能之外,更大大提升了觀察性充分發揮、操作性發展成就、耐久性可以觀察的硅片直徑為200mm
觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定)
ECLIPSE L200N 反射照明專(zhuān)用 ECLIPSE L200ND 反射.透射照明專(zhuān)用
觀察性能提升
擴(kuò)大檢查范圍的反射熒光觀察(L200ND)
反射照明觀察,除可進(jìn)行明場(chǎng)重要方式、暗場(chǎng)開展面對面、微分干涉觀察之外,更可進(jìn)行UV(365nm)激發(fā)的反射熒光觀察非常重要。
對(duì)于半導(dǎo)體感光薄膜的殘?jiān)M一步提升、有機(jī)EL顯示面板的觀察發(fā)揮了很大的威力。
使用物鏡:CFI LU PLAN FLUOR 10X
硅片的明場(chǎng)觀察 暗場(chǎng)觀察 微分干涉觀察 反射熒光觀察
反射熒光觀察用的電動(dòng)水銀光纖光源[強(qiáng)光](L200ND)
光源采用了預(yù)定心電動(dòng)水銀光纖光源[INTENSILIGHT]營造一處。更換燈泡時(shí)不用進(jìn)行燈絲調(diào)心和對(duì)焦改革創新。
燈箱可與主機(jī)分離設(shè)置,以降低光源發(fā)熱對(duì)顯微鏡的影響取得顯著成效。6段式的調(diào)光機(jī)能和快門(mén)機(jī)能新模式,實(shí)現(xiàn)了良好的操作性。
約2000小時(shí)超長(zhǎng)使用壽命的燈泡大幅降低了使用成本不容忽視。
操作性能提升組織了、理環(huán)保
比12V100W更亮的高亮度12V50W鹵素?zé)?/span>采用了12V50W的[LV-LH50PC預(yù)定心燈箱]的可能性,與12V100W相比,耗電量削減了約一半服務為一體,又可達(dá)到與其同等甚至更亮的亮度問題。
燈絲位置經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì),且燈箱里有反光鏡全會精神,使照明視場(chǎng)均勻系統穩定性,并提高照明效率。特別是用到50倍以的高倍物鏡時(shí)集中展示,能得到比12V100W亮約20%的觀察圖象實力增強。
更環(huán)保,也能防止因熱量而造成的焦面偏移的干擾探索創新。
抗污染的防靜電涂層
主機(jī)帶來全新智能、載物臺(tái)、鏡筒均涂有消靜電涂層新產品。為了提高抗污染能力去完善,防止工件因靜電感應(yīng)而受損,從而提高成品率長遠所需。
可調(diào)節(jié)到位置進(jìn)行觀察的正立調(diào)傾式三目鏡筒
視場(chǎng)數(shù)25的超大視場(chǎng)範圍,可任意設(shè)定0~30°的觀察角度。根據(jù)使用者體型和觀察姿勢(shì)的不同紮實做,可將三目鏡筒調(diào)節(jié)到位置松隨意的進(jìn)行觀察空間廣闊。
載物臺(tái)微調(diào)手輪無(wú)需移動(dòng)工件
不用移動(dòng)工件,載物臺(tái)微調(diào)手柄位置固定于顯微鏡主機(jī)操作部旁提供深度撮合服務。
所有的操作部都盡在手邊服務品質,移動(dòng)載物臺(tái)、對(duì)焦等顯微操作組成部分,不用抬手影響,只需動(dòng)動(dòng)手腕就可輕松執(zhí)行。
耐久性比以前高3倍的電動(dòng)通用物鏡轉(zhuǎn)換器
最多可以安裝到6個(gè)物鏡技術節能。和偏心較小的物鏡結(jié)合使用指導,用高倍物鏡觀察時(shí)切換倍率也很少會(huì)出現(xiàn)圖象閃動(dòng)現(xiàn)象。
從低倍到高倍的自由切換更穩(wěn)定國際要求。考慮到使用者鍛造,在旋轉(zhuǎn)物鏡轉(zhuǎn)換器時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷照明光路競爭激烈,避免光直接照射使用者眼晴。
對(duì)焦目標(biāo)
對(duì)焦目標(biāo)可移入光路改善,這一特性對(duì)于裸硅片之類(lèi)的低對(duì)比度工件的正確對(duì)焦成為方便空白區。
顯微鏡操作部位集中于底座前部
操作手輪協調機製、按鍵等,都集中于底座前部形勢,更便于使用實踐者。一看就能快捷高效的進(jìn)行顯微操作。大大減輕了長(zhǎng)時(shí)間觀察的疲勞感約定管轄。
獲取圖象數據,提升與顯微鏡用數(shù)碼相機(jī)的聯(lián)動(dòng)力
實(shí)現(xiàn)了從觀察到圖象拍攝、分析的整體化
·尼康開(kāi)發(fā)提供了便于使用的顯微鏡發揮、數(shù)碼相機(jī)和軟件一體化的高機(jī)能設(shè)備系統(tǒng)顯著。
·支持從設(shè)定觀察條件,到數(shù)碼拍攝→處理→分析的整個(gè)流程開放以來。
用于LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L200N
Wafer Loader NWL200系列
與ECLIPSE L200N相結(jié)合占,對(duì)應(yīng)的硅片檢查需要。
運(yùn)用獨(dú)立的尼康技術(shù)提供了有力支撐,穩(wěn)定傳輸超薄型100um硅片供給。
目鏡筒:L2-TTA超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒意向;
L2-TT2A超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒意料之外;
LV-T13正立三目鏡筒;