世界可見光及電子光學(xué)的----德國蔡司公司始創(chuàng)于1846年數字化。其電子光學(xué)前身為L(zhǎng)EO（里奧）,更早叫Cambridge（劍橋）和Zeiss方便。積掃描電鏡領(lǐng)域40多年及透射電鏡領(lǐng)域60年的經(jīng)驗(yàn)，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個(gè)*：
Ÿ *臺(tái)靜電式透射電鏡 （1949）
Ÿ *臺(tái)商業(yè)化掃描電鏡 （1965）
Ÿ *臺(tái)數(shù)字化掃描電鏡（1985）
Ÿ *臺(tái)帶有成像濾波器的透射電鏡 （1992）
Ÿ *臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（1990）
Ÿ *臺(tái)具有Koehler照明的 200kV 場(chǎng)發(fā)射透射電鏡（2003）
Ÿ *臺(tái)具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的場(chǎng)發(fā)射透射電鏡（2003）
CARL ZEISS其前瞻性**的設(shè)計(jì)融合歐洲*制造工藝造就了該品牌在光電子領(lǐng)域無可撼動(dòng)的*地位各領域。自成立至今應用領域，一直延續(xù)不斷創(chuàng)新的傳統(tǒng)，公司擁有廣泛的專有技術(shù)進行培訓，發展機遇，隨著離子束技術(shù)和基于電子束的分析技術(shù)的加入、可為您提供鎢燈絲掃描電鏡法治力量、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡全技術方案、雙束顯微鏡（FIB and SEM）、透射電子顯微鏡等全系列解決方案共享。優勢與挑戰。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量解決方案、高可靠性和穩(wěn)定性已得到*廣大用戶的信賴與認(rèn)可趨勢。作為電鏡標(biāo)準(zhǔn)*的CARL ZEISS將一路*電鏡市場(chǎng)為您開創(chuàng)探求納米科技的嶄新紀(jì)元。
源于德國卡爾•蔡司SMT部門的LIBRA 120是一款全新的能量過濾式透射電子顯微鏡（EFTEM）上高質量，它可以更快一站式服務、更可靠、更為穩(wěn)定的方式為您提供專業(yè)性的超微結(jié)構(gòu)及超納米結(jié)構(gòu)分析深入交流。
LIBRA 120采用了改進(jìn)的120kv的加速電壓引領作用、OMEGA鏡筒濾波器、*的科勒式照明系統(tǒng)以及可控?cái)?shù)字化電子光學(xué)系統(tǒng)臺上與臺下，結(jié)合了*可重建電子功能和創(chuàng)新的WinTEMTM圖形用戶界面（ GUI ）控制系統(tǒng)用的舒心。這使得LIBRA 120成為一款杰出的能量過濾式透射電鏡，可以為您提供zui為*的成像結(jié)果，元素分析深入開展，低劑量和遠(yuǎn)程控制三維實(shí)驗(yàn)等功能更為一致。
LIBRA 120性能特點(diǎn)及技術(shù)優(yōu)勢(shì)
●靈活性*的科勒式照明系統(tǒng)
科勒式照明系統(tǒng)在TEM、spot技術的開發、STEM和衍射模式下均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化研究與應用、可重復(fù)性和優(yōu)化光照條件。
●OMEGA內(nèi)置鏡筒能量過濾器
為增強(qiáng)圖像的反襯效果更高效，LIBRA 120 在EELS 系統(tǒng)中加入了元素分析及優(yōu)化能量分辨率功能全面協議。
●高度集成化的電子板
高度集成化的電子板集合了電子光學(xué)參數(shù)的可控性、堅(jiān)固性以及zui大限度的穩(wěn)定性等優(yōu)勢(shì)具體而言。
●WinTEMTM圖形用戶界面和符合人體工程學(xué)的控制面板
方便用戶操作工具。
●開放式戰(zhàn)略
支持所有的圖像格式、適用所有的攝像機(jī)和探測(cè)器喜愛，能夠zui大限度的滿足客戶的檢測(cè)要求與應(yīng)用
●數(shù)字化電子光學(xué)系統(tǒng)
遠(yuǎn)程控制和高度重復(fù)再現(xiàn)能力重要的角色。
●EDX元素分析
可對(duì)EELS和ESI / EFTEM能夠分析的元素以外的所有元素進(jìn)行分析。
●TMP基于*的無油真空系統(tǒng)
高吞吐量向好態勢、低污染率和快速抽真空
●高精度± 75 °傾斜載物臺(tái)
高精度和穩(wěn)定性
WinTEMTM
TEM提供了一種更為直觀的和符合人體工程學(xué)的用戶界面平臺建設。
LIBRA系列提供了一個(gè)*的外觀設(shè)計(jì)——圖形用戶界面（ GUI ） ，已廣泛應(yīng)用于各種掃描電鏡和FIB儀器等領(lǐng)域中貢獻力量。圖形用戶界面的設(shè)計(jì)使用，使用戶可以*專注于他們的研究領(lǐng)域并且即使是在低照明的工作環(huán)境下也可對(duì)多功能的EFTEM設(shè)備進(jìn)行操控。
多用戶功能
WinTEMTM軟件可以進(jìn)行多用戶操作去創新，每個(gè)用戶都可以設(shè)定自己的管理界面足夠的實力，在用戶登錄后，就可以找到屬于自己的存儲(chǔ)信息和顯示數(shù)據(jù)結構。
（5）
方便直觀控制系統(tǒng)
人體功程學(xué)設(shè)計(jì)
LIBRA 120通過兩個(gè)控制面板就可以對(duì)WinTEMTM軟件進(jìn)行操作更適合，它可以放置在桌面的任何位置并可進(jìn)行多用戶操作。低光模式下規劃，背光旋鈕和計(jì)算機(jī)屏幕呈現(xiàn)熒光綠色擴大公共數據，方便用戶操作，這充分展現(xiàn)了LIBRA 120系列的人體功程學(xué)原理帶動擴大。
軟件體系結(jié)構(gòu)和遠(yuǎn)程控制
該WinTEMTM控制軟件是基于客戶端的驗(yàn)證服務(wù)器架構(gòu)的：由EM服務(wù)控件和EFTEM構(gòu)成 。用戶（客戶端）是通過圖形用戶界面的WinTEMTM和兩個(gè)硬件控制面板來實(shí)現(xiàn)互動(dòng)的開拓創新。
采用程序編程接口（ API ）可以實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程操作持續發展。通過德國卡爾•蔡司SMT服務(wù)中心可以實(shí)現(xiàn)從連接EFTEM到不同實(shí)驗(yàn)室的高速、實(shí)時(shí)控制檢測(cè)和分析促進善治。
（6）
ESI-電子光譜成像：
一分鐘內(nèi)便可*檢測(cè)到樣品元素的分布
（7）
克勒式照明系統(tǒng)：
內(nèi)置式擴大、簡(jiǎn)單易用、多選擇性，降低對(duì)樣品表面的損傷
（8）
柯勒式照明：
可自由選取衍射（ SAD ）的zui小領(lǐng)域
（9）
LIBRA 120 技術(shù)
內(nèi)置OMEGA能量濾波器
LIBRA 120能源濾波器位于兩個(gè)投影組之間并采用對(duì)稱性設(shè)計(jì)（ Lanio型）新格局，可對(duì)二次相差進(jìn)行優(yōu)化明顯。它由四塊磁鐵和*的hex pole /quadrupole校正元素，它們位于光譜儀的對(duì)稱面上顯示。一個(gè)帶有可變孔徑光闌的能量分散板被設(shè)置在第二個(gè)投影系統(tǒng)前創新為先。任何介于0和3500 eV之間元素成像的電子能力的損失，具體的電子能量損失介于的元素圖像可以被選擇的界定增加小學(xué)高張力科普活動，恰恰對(duì)應(yīng)能源損失的部分利益創新延展。因此的路徑選擇的電子能量損失總是軸向，激發(fā)的成像系統(tǒng)和光譜保持不變長期間，和的立場(chǎng)狹縫孔徑始終保持不變基本情況。任何介于0到3500ev的電子能量損失對(duì)于能量核磁共振成像來說都可以通過高速電壓來實(shí)現(xiàn)，這正與能量的損失相*高端化。因此力量，電子能量損失的路徑總是在縱軸上，而成像系統(tǒng)提單產、分光計(jì)以及光學(xué)孔徑總是恒久不變提升行動。
OMEGA過濾器從純粹的意義上來說就是磁譜儀，因此他的好處就在于可以不受任何限制的為顯微鏡提供加速電壓密度增加。雖然有其固定的生命周期有效性，但卻不需要任何特殊的操作技能。
通過預(yù)先設(shè)置能量范圍機遇與挑戰，計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制掃描廣泛關註，光譜就可進(jìn)行自動(dòng)記錄。
（10）
科勒式照明系統(tǒng)
聚光鏡的設(shè)置
科勒式照明系統(tǒng)包含了四個(gè)透鏡組：聚光鏡1-3和聚光鏡-物鏡（C-O）前場(chǎng)透鏡集成技術、幾個(gè)偏轉(zhuǎn)線圈和掃描線圈就能壓製，一個(gè)（可以是兩個(gè)）多孔的聚光孔徑光闌以及一個(gè)單一的聚光鏡孔徑光闌、
使用的自動(dòng)照明系統(tǒng)（AIS）根據(jù)需要的放大倍數(shù)來選擇適當(dāng)?shù)木酃忡R孔徑光闌適應能力。確保獲得一個(gè)均勻的完整的照明視野更優美。對(duì)于低放射劑量和衍射應(yīng)用分析，可以手動(dòng)選擇聚光鏡孔徑光闌來限定照明區(qū)域防控。
優(yōu)勢(shì)所在
照明系統(tǒng)所具備的zui高性能以及zui大限度的靈活性是成像質(zhì)量達(dá)到*效果的*途徑成效與經驗。只有完善的柯勒式照明系統(tǒng)才具備以下突出優(yōu)勢(shì)：
●光學(xué)校正照明要求光束平行的照射到樣品點(diǎn)，即使光束被轉(zhuǎn)換或傾斜也能保持平行堅實基礎。
●無論采取何種發(fā)射方式稍有不慎，科勒式照明系統(tǒng)都能夠確保相同的寬視場(chǎng)照明。
●優(yōu)化樣品保護(hù)等地，依據(jù)不同的放大倍率最為顯著，聚光鏡孔徑光闌進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整尤為突出，使其直接成像到樣品表面并準(zhǔn)確界定其照明區(qū)域。
●分別調(diào)整照明區(qū)域和照明孔徑角（亮度）環境。22級(jí)亮度步進(jìn)式調(diào)整空間載體，允許自動(dòng)精確劑量校準(zhǔn)
●簡(jiǎn)單的按鈕操作便可實(shí)現(xiàn)對(duì)光斑大小的限定。 只有調(diào)整第三聚光鏡的勵(lì)磁相對簡便，才可以在照明區(qū)域的中心位置呈現(xiàn)出聚焦的小圓斑點(diǎn)重要組成部分。
●無需輔助鏡頭，因?yàn)榍皥?chǎng)物鏡的后焦平面一直保持在任何照明條件下提供zui為嚴(yán)格的平行光束照明到樣品表面趨勢。
●當(dāng)能量損失值發(fā)生改變時(shí)有力扭轉，系統(tǒng)可對(duì)照明參數(shù)進(jìn)行自動(dòng)校正
（11）
電子光學(xué)系統(tǒng)
電子光學(xué)鏡筒
全新升級(jí)LIBRA 120采用了超級(jí)數(shù)字化理念設(shè)計(jì)的電子光學(xué)鏡筒，配置了內(nèi)置式OMEGA能源過濾器和三透鏡式科勒聚光鏡系統(tǒng)一站式服務。進(jìn)一步降低了物鏡的色差系數(shù)廣度和深度、改善了透鏡線圈、提高了電子束的穩(wěn)定性引領作用、使聚光鏡及孔徑光闌更加靈活穩(wěn)定科技實力。帶有能量選擇光闌的電子束路徑如右圖所示。
物鏡
科勒式照明系統(tǒng)支持在物鏡前場(chǎng)透鏡的后焦平面處連續(xù)成像建設，且無需額外的迷你透鏡獲得平行光照射樣品點(diǎn)在此基礎上。無論采用spot、衍射前來體驗、寬視野成像模式自主研發，聚光鏡孔徑光闌限定的照明區(qū)域和物鏡透鏡電流都保持不變。無需做任何調(diào)整即可實(shí)現(xiàn)重復(fù)觀察和控制模式的快速轉(zhuǎn)換更加廣闊。樣本總是被固定在載物臺(tái)的eucentric軸上損耗，同時(shí)位于物鏡的對(duì)稱區(qū)域。其大孔縫隙允許高傾斜角度非常完善，適合于各種探測(cè)測(cè)器或低溫顯微鏡anticontamination 刀口性能穩定。
