標(biāo)準(zhǔn)主機(jī)包含單色化AlKαX射線源

標(biāo)準(zhǔn)主機(jī)包含單色化Al Kα X射線源研究成果，可實(shí)現(xiàn)大面積XPS分析取得了一定進展、小面積XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能

業(yè)界功率的600W單色化Al Kα X射線源，確保的分析靈敏度

平均半徑165mm的雙層能量分析器大面積，確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像

的浸入式磁透鏡技術(shù)積極參與，大幅度提高分析靈敏度

的快速平行X光電子實(shí)時(shí)成像，可進(jìn)行微區(qū)元素和化學(xué)態(tài)空間分布分析

的同軸超低能單電子源荷電中和器有望，解決絕緣體XPS分析

的二維陣列延遲線檢測(cè)器進一步推進，同時(shí)記錄光電子的強(qiáng)度和發(fā)射位置