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X射線光電子能譜儀的優(yōu)缺點
X射線光電子能譜儀(XPS)是一種*的表面分析技術(shù)重要的意義，它利用X射線激發(fā)樣品表面元素的內(nèi)層能級電子信號，再用電子能譜儀檢測光電子的動能及強度等多個領域，進而確定元素的種類及價態(tài)等信息再獲，主要用于研究材料極表面的元素及元素不同價態(tài)組成。本文將介紹XPS的優(yōu)缺點應用擴展。
XPS的優(yōu)點
1體驗區、能快速、同時對除H和He以外的所有元素進行元素定性活動上、定量分析增幅最大，幾分鐘內(nèi)就可完成；可以直接測定來自樣品單個能級光電發(fā)射電子的能量分布生產能力，且直接得到電子能級結(jié)構(gòu)的信息。
2示範推廣、對試樣與探測器的幾何位置要求低：對W.D的要求不是很嚴格堅持好；可以在低倍率下獲得X射線掃描、面分布結(jié)果大幅增加。
3特性、能譜所需探針電流小，是一種無損分析等特點。對電子束照射后易損傷的試樣建言直達，例如生物試樣、快離子試樣將進一步、玻璃等損傷小充分發揮。
4、是一種高靈敏超微量表面分析技術(shù)成就。分析所需試樣約8-10g即可重要方式，靈敏度高達10-18g，樣品分析深度約2nm系統。
XPS的缺點
1非常重要、分辨率低，比X射線波長色散譜儀的分辨率(~10電子伏)要低十幾倍空間廣闊；
2營造一處、峰背比低(約為100)，比X射線波長色散譜儀的要低10倍增強，定量分析尚存在一些困難重要意義；
3、Si(Li)探測器必須在液氮溫度下保存和使用置之不顧，因此要保證液氮的連線供應不斷完善；
4數字化、不能分析Z小于11的元素，分辨率基礎上、探測極限以及分析精度都不如波譜儀各領域。因此，它常常跟波譜儀配合使用保持競爭優勢。
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第四屆全國光譜大會
展會城市：株洲市展會時間：2025-05-08